背壓法氦質(zhì)譜檢漏

采用背壓法檢漏時，首先將被檢產(chǎn)品置于高壓的氦氣室中，浸泡數(shù)小時或數(shù)天，如果被檢產(chǎn)品表面有漏孔，氦氣便通過漏孔壓入被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封腔中，使內(nèi)部密封腔中氦分壓力上升。然后取出被檢產(chǎn)品，將表面的殘余氦氣吹除后再將被檢產(chǎn)品放入與檢漏儀相連的真空容器內(nèi)，真空箱氦檢漏系統(tǒng)哪家好，被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封腔內(nèi)的氦氣會通過漏孔泄漏到真空容器，再進入氦質(zhì)譜檢漏儀，從而實現(xiàn)被檢產(chǎn)品總漏率測量。檢漏儀給出的漏率值為測量漏率，需要通過換算公式計算出被檢產(chǎn)品的等效標準漏率。

背壓法的優(yōu)點是檢測靈敏度高，能實現(xiàn)小型密封容器產(chǎn)品的泄漏檢測，可以進行批量化檢測。

背壓法的缺點是不能進行大型密封容器的漏，否則由于密封腔體容積太大，導(dǎo)致加壓時間太長。此外，每個測量漏率都對應(yīng)兩個等效標準漏率，在細檢完成后還需要采用其它方法進行粗檢，排除大漏的可能。

背壓法的檢漏主要應(yīng)用于各種電子元器件產(chǎn)品檢漏

檢漏

1.真空計測漏

一般的真空計測漏是用酒精作為檢漏液。測漏時在有漏的地方噴灑酒精，真空箱氦檢漏系統(tǒng)價格，若酒精噴灑在漏氣處時，真空計會顯示壓力下降然后再上升的現(xiàn)象。這是因為酒精進入漏氣處暫時有堵漏的作用，故真空系統(tǒng)壓力下降。當酒精穿過漏氣處到達真空系統(tǒng)內(nèi)部會立即變成蒸氣，故真空系統(tǒng)中的壓力再上升。

2.檢漏儀測漏

將檢漏儀接入設(shè)備的抽氣管路。設(shè)備先由泵抽氣到檢漏儀工作壓強，然后切換到檢漏儀。然后向懷疑有漏的地方噴吹氦氣，若有漏氣，則檢漏儀的顯示會有明顯變化。真空檢漏技術(shù)

氦質(zhì)譜檢漏儀

氦質(zhì)譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器，它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點，真空檢漏技術(shù)

工作原理：

氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器，如圖3所示。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子，真空箱氦檢漏系統(tǒng)生產(chǎn)廠家，在室內(nèi)來回地振蕩，并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進人室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場作用下進入磁場，由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)，形成圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過磁場和接收縫到達接收極而被檢測。

確定系統(tǒng)的報警點

根據(jù)本節(jié)2）所得等效氦氣漏率和3)所得系統(tǒng)分流因子，即可確定工件的報警點：

Q= QHe/Q3。

氦檢漏系統(tǒng)校準

氦檢漏系統(tǒng)在使用一段時間后，檢漏儀可能由于環(huán)境等其他因素的影響，系統(tǒng)檢測漏率會出現(xiàn)漂移。因此，需要定期對系統(tǒng)校準。系統(tǒng)校準分為內(nèi)部校準和外部校準。

1）內(nèi)部校準

內(nèi)部校準即是對檢漏儀自身的校準，執(zhí)行內(nèi)部校準需要準備一個漏率已知的標準漏孔對檢漏儀進行校準。由于每款檢漏儀校準方法各不相同，合肥真空箱氦檢漏系統(tǒng)，限于篇幅，本文不作詳述。值得一提的是，一些檢漏儀會內(nèi)置標準漏孔。內(nèi)置標準漏孔在使用一段時間后，漏率會衰減。因此需要找專門計量單位對內(nèi)置漏孔進行校準，通常漏孔每年校準一次。

2）外部校準

外部校準即是對整個檢漏系統(tǒng)校準，系統(tǒng)使用一段時間后，系統(tǒng)的分流因子可能會發(fā)生改變，因此需要定期使用標準漏孔來校準系統(tǒng)，以確定分流比是否已經(jīng)改變。如果改變需要適當調(diào)整系統(tǒng)的報警點。

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