真空法氦質(zhì)譜檢漏

采用真空法檢漏時，需要利用輔助真空泵或檢漏儀對被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封室抽真空，采用氦罩或噴吹的方法在被檢產(chǎn)品外表面施氦氣，當(dāng)被檢產(chǎn)品表面有漏孔時，氦氣就會通過漏孔進(jìn)入被檢產(chǎn)品內(nèi)部，再進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀，從而實現(xiàn)被檢產(chǎn)品泄漏量測量。按照施漏氣體方法的不同，又可以將真空法分為真空噴吹法和真空氦罩法。其中真空噴吹法采用噴的方式向被檢產(chǎn)品外表面噴吹氦氣，可以實現(xiàn)漏孔的；真空氦罩法采用有一定密閉功能的氦罩將被檢產(chǎn)品全部罩起來，在罩內(nèi)充滿一定濃度的氦氣，可以實現(xiàn)被檢產(chǎn)品總漏率的測量。

真空法的優(yōu)點是檢測靈敏度高，可以，能實現(xiàn)大容器或復(fù)雜結(jié)構(gòu)產(chǎn)品的檢漏。

真空法的缺點是只能實現(xiàn)一個大氣壓差的漏率檢測，氦普檢漏儀，不能準(zhǔn)確反映帶壓被檢產(chǎn)品的真實泄漏狀態(tài)。

真空法的檢測主要應(yīng)用于真空密封性能要求，但不帶壓工作的產(chǎn)品，如空間活動部件、液氫槽車、環(huán)境模擬設(shè)備等。

氦質(zhì)譜檢漏儀性能試驗方法

靈敏度及其校準(zhǔn)

氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度，通常指儀器的小可檢漏率。記為qL.min，即在儀器處于佳工作條件下，以一個大氣壓的純氦氣為示漏氣體，進(jìn)行動態(tài)檢漏時所能檢測出的小漏孔漏率。所謂“佳工作條件”是指儀器參數(shù)調(diào)整到佳值，被檢件出氣少且沒有大漏孔等條件。所謂“動態(tài)檢漏”是指檢漏儀器本身的抽氣系統(tǒng)仍在正常抽氣。儀器的反應(yīng)時間不大于3s。所謂“小可檢”是指檢漏訊號為儀器本底噪聲的兩倍時，才能認(rèn)定有漏氣訊號輸出。所謂“漏孔漏率”是指一個大氣壓的干燥空氣通過漏孔漏向真空側(cè)的漏氣速率。儀器本底噪聲，一般指在2min內(nèi)輸出儀表的大波動量。

如果檢漏時用輔助系統(tǒng)抽氣(即對示漏氦氣有分流)?；蛴美鄯e法檢漏時，給出儀器小可檢氦濃度(即濃度靈敏度)。記為γmin，能較方便地估計檢漏效果。

濃度靈敏度校準(zhǔn)系統(tǒng)中應(yīng)用量計測出通過針閥2進(jìn)入儀器的空氣流率qL.o，則儀器濃度靈敏度。

氦質(zhì)譜檢漏的具體方法——背壓法

背壓法是真空系統(tǒng)檢漏中的基礎(chǔ)方法之一，結(jié)合了壓力檢漏與真空檢漏兩者的特點。氦質(zhì)譜檢漏中，背壓法的應(yīng)用原理也是一樣的，今天就和華爾升智控一起看下氦質(zhì)譜檢漏方法中的背壓法。

背壓氦質(zhì)譜檢漏法是一種適用于容積較小被檢件的檢漏方法，例如半導(dǎo)體一類真空密封器件的無損檢漏。它的檢漏過程與其他背壓法一樣包括3個步驟：充壓、凈化、檢漏。

充壓過程中，被檢件在充有高壓氦氣的容器中存放一定時間，使氦氣經(jīng)漏孔進(jìn)入被檢件內(nèi)部，并隨著時間的增長，其內(nèi)部的充氣壓力及氦分壓會逐漸；進(jìn)入凈化階段后，用干燥氮?dú)獾葲_刷，或通過靜置手段去除吸附在被檢件外表面的氦氣；將被檢件放入真空室并將真空室抽成真空狀態(tài)，利用壓差作用使被檢件內(nèi)部的氦氣流出進(jìn)入檢漏儀，檢漏儀輸出指示判定漏孔的存在及其漏率。

相信不少人可以看出背壓法不適合用于有大漏孔的被檢件。因為如果漏孔過大，在凈化階段，充入被檢件內(nèi)部的氦氣會流失得很快，凈化的時間越長，流失得就越嚴(yán)重，會導(dǎo)致檢漏儀的輸出指示降低，造成漏孔漏率很小的假象，甚至檢測不出漏孔。因此在使用背壓氦質(zhì)譜檢漏法時，除了避免用于大漏孔的被檢件檢漏外，還要注意適當(dāng)充氣壓力、延長在高壓氦氣中的浸泡時間，同時縮短凈化時間，來提高檢漏靈敏度。

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