氦質(zhì)譜檢漏儀的結(jié)構(gòu)

分析器

分析器作用是使不同質(zhì)荷比的離子按不同軌跡運(yùn)動(dòng)，從而將它們彼此分開，僅使氦離子通過(guò)其出口隙縫。分析器由一個(gè)外加均勻磁場(chǎng)及一個(gè)出口電極組成，如圖4所示。磁場(chǎng)方向與離子束入射方向垂直。

由離子源出來(lái)的離子束射入它垂直的磁通密度為B的均勻磁場(chǎng)分析器中后，由于分析場(chǎng)中電場(chǎng)為零，所以離子僅受磁場(chǎng)的洛倫茲力作用而作半徑為R的圓周運(yùn)動(dòng)。偏轉(zhuǎn)半徑R與質(zhì)荷比M/Ze有關(guān)，當(dāng)B及U一定時(shí)，相同質(zhì)荷比的離子具有相同的運(yùn)動(dòng)半徑，不同質(zhì)荷比的離子將以不同的半徑偏轉(zhuǎn)而彼此分開。質(zhì)荷比小的偏轉(zhuǎn)半徑小，質(zhì)荷比大的偏轉(zhuǎn)半徑大。在偏轉(zhuǎn)180°處，用一分析器出口電極將其他離子擋住，而使氦離子軌道對(duì)準(zhǔn)出口電極上的狹縫，氦離子穿過(guò)狹縫到達(dá)離子收集極形成氦離子流。

氦質(zhì)譜檢漏儀故障與處理

檢漏儀內(nèi)部泄漏

定位方法

采用噴吹法對(duì)各密封部位的氣密性進(jìn)行檢測(cè)，因檢漏儀內(nèi)部結(jié)構(gòu)緊湊，各密封結(jié)構(gòu)間的距離很近，檢測(cè)時(shí)定位難度較大。經(jīng)摸索，在檢測(cè)時(shí)采用以下技巧，氦檢漏儀價(jià)格，可提高定位的能力：①查漏前，先將分子泵風(fēng)扇的電源斷開，避免風(fēng)扇將氦源吹散至各個(gè)密封環(huán)節(jié)，造成定位不準(zhǔn)確。②噴吹時(shí)，要嚴(yán)格控制氦源的流量，盡量采用噴咀流量小的噴，提高定位的能力。③儀器的反應(yīng)時(shí)間小于1s，所以在一個(gè)部位噴吹的時(shí)間約3 s，再等待約3 s 后觀測(cè)信號(hào)有無(wú)變化。

檢漏儀使用中注意事項(xiàng)

檢漏儀在使用過(guò)程中需特別注意以下幾點(diǎn)：

①使用的電源電壓要在額定的電壓范圍之內(nèi)，電壓過(guò)低儀器啟動(dòng)困難，且性能不穩(wěn)定，電壓過(guò)高會(huì)燒壞電源，嚴(yán)重時(shí)還會(huì)燒毀母板的電路板和分子泵，應(yīng)連接穩(wěn)壓電源(UPS)。

②儀器在運(yùn)行過(guò)程中不能移動(dòng)。渦輪分子泵處于高速運(yùn)轉(zhuǎn)中，若搬動(dòng)檢漏儀，容易使分子泵內(nèi)的葉片與轉(zhuǎn)子的筒體相碰撞。

③檢漏儀應(yīng)按照說(shuō)明書的要求定期進(jìn)行保養(yǎng)，保養(yǎng)的項(xiàng)目有更換機(jī)械泵油、更換過(guò)濾網(wǎng)、更換過(guò)濾器。

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