氦質譜檢漏儀的結構

收集極

收集極是對準出口電極狹縫安裝的，其作用是收集穿過出口電極狹縫的氦離子并通過一個電阻輸入到小電流放大器進行離子流的放大和測量。由于氦離子一般只有10-13~10-12A，要使小電流放大器一極輸入信號電壓足夠大，則輸入電阻必需很大（一般高于1010歐），一級放大用的靜電計管必須要高度絕緣，所以把高阻及靜電計管放在高真空的質譜室中。

真空系統(tǒng)

儀器的真空系統(tǒng)提供質譜正常工作所需要的真空條件，不同型號的檢漏儀其真空系統(tǒng)有較大的差別。圖5為常見的普通型氦質譜檢漏儀真空系統(tǒng)。

氦氣檢漏系統(tǒng)本身檢測產(chǎn)品的密封性能。與傳統(tǒng)的防水檢測方法和氦氣檢測方法相比，具有以下優(yōu)點:

1.:由于水的粘度大于氣體的粘度，與傳統(tǒng)的泡水檢測方法相比，氣密性檢測速度快，產(chǎn)品不需要干燥，所以。

2.安全無污染:泡水檢測會污染產(chǎn)品，容易間接腐蝕產(chǎn)品。

3.操作簡單:氣密性檢測儀與氦氣檢漏或泡水檢測法相比，無需操作者過多的肢體動作或長期訓練，即可掌握操作方法，操作起來像個傻子。

4.成本低:與氦檢漏儀相比，只需要干凈的壓縮氣體代替氦氣；傳統(tǒng)的泡水檢測方法檢測產(chǎn)品需要幾分鐘左右，而氣密性檢測儀檢測產(chǎn)品只需要幾秒到十秒，可以節(jié)省大量的人力成本、材料成本和時間成本。

5.可靠性高:檢漏儀采用微電腦控制系統(tǒng)，由微電腦根據(jù)設定值自動判斷檢測結果，結果可靠。傳統(tǒng)的泡水方法由于人眼的疲勞和操作者思維的開小差而不客觀。

正壓法氦質譜檢漏

采用正壓法檢漏時，需對被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封室充入高于一個大氣壓力的氦氣，當被檢產(chǎn)品表面有漏孔時，氦氣就會通孔漏孔進入被檢外表面的周圍大氣環(huán)境中，氦檢漏儀價格，再采用吸的方式檢測被檢產(chǎn)品周圍大氣環(huán)境中的氦氣濃度增量，從而實現(xiàn)被檢產(chǎn)品泄漏測量。按照收集氦氣方式的不同，又可以將正壓法分為正壓吸法和正壓累積法。其中正壓吸法采用檢漏儀吸對被檢產(chǎn)品外表面進行掃描探查，可以實現(xiàn)漏孔的；正壓累積法采用有一定密閉功能的氦罩將被檢產(chǎn)品全部罩起來，采用檢漏儀吸測量一定時間段前后的氦罩內(nèi)氦氣濃度變化量，實現(xiàn)被檢產(chǎn)品總漏率的測量。正壓法的優(yōu)點是不需要輔助的真空系統(tǒng)，可以，實現(xiàn)任何工作壓力下的檢測。正壓法的缺點是檢測靈敏度較低，檢測結果不確定度大，受測量環(huán)境條件影響大。正壓法主要應用于大容積高壓密閉容器產(chǎn)品的檢漏，如高壓氦氣瓶、艙門檢漏儀等。

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