氣體 - 電子工業(yè)用氣體氧化亞氮檢測 全部項目  GB/T14600

GB/T 14600?2025《電子氣體 一氧化二氮（氧化亞氮）》全部檢測項目（現(xiàn)行版本，2025?11?01 實施，替代GB/T14600?2009）中國國家標...

單位：摩爾分數(shù)，\(10^{-6}\)即 ppm

表格

序號檢測項目標準指標限值標準規(guī)定試驗方法

1	一氧化二氮（\(\boldsymbol{N_2O}\)）主純度	≥99.9995 %	差減法（100 減去全部雜質總和）
2	氫氣 \(\boldsymbol{H_2}\)	＜0.1 ppm	氦離子化氣相色譜法（GB/T28726）
3	氧 + 氬 \(\boldsymbol{O_2+Ar}\)	＜0.5 ppm	氦離子化氣相色譜法
4	氮氣 \(\boldsymbol{N_2}\)	＜1.0 ppm	氦離子化氣相色譜法
5	一氧化碳 \(\boldsymbol{CO}\)	＜0.1 ppm	氦離子化氣相色譜法
6	二氧化碳 \(\boldsymbol{CO_2}\)	＜0.5 ppm	氦離子化氣相色譜法
7	總烴（以\(\boldsymbol{CH_4}\)計）	＜0.2 ppm	氣相色譜?FID 法
8	氨 \(\boldsymbol{NH_3}\)	＜0.5 ppm	傅里葉變換紅外光譜 FTIR；仲裁：FTIR
9	一氧化氮 \(\boldsymbol{NO}\)	＜0.3 ppm	化學發(fā)光法
10	二氧化氮 \(\boldsymbol{NO_2}\)	＜0.3 ppm	化學發(fā)光法
11	水分 \(\boldsymbol{H_2O}\)	＜1.0 ppm	光腔衰蕩光譜 / 露點法等等效方法
12	雜質總含量	≤5.0 ppm	全部雜質加和計算

說明

1. GB/T14600 國標不強制金屬顆粒、金屬離子；半導體客戶若需要 Na、K、Fe、Ni等金屬雜質、≥0.1μm 顆粒物，屬于 SEMI 客戶附加要求，不在本國標強制項目內。

2. GB/T14600?2009 舊版：沒有氫氣項目；氨、NO、NO?指標為供需雙方協(xié)商，無強制限值，2025新版全部給出強制指標GB/T英...。

3. 采樣執(zhí)行：GB/T43306《氣體分析 采樣導則》。

全套檢測輸出報告項目清單（可直接復制給實驗室）

一氧化二氮 (\(N_2O\)) 純度、氫氣、氧 +氬、氮氣、一氧化碳、二氧化碳、總烴（甲烷計）、氨、一氧化氮、二氧化氮、水分、雜質總含量，依據(jù) GB/T14600?2025 全項檢測。

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