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氣體 - 電子工業(yè)用氣體氦 全部項(xiàng)目 GB/T16943
現(xiàn)行版本 GB/T16943?2009，有兩個(gè)等級(jí)：6N（99.9999%）、5.5N（99.9995%）；體積分?jǐn)?shù)，單位：10??即ppm。
表格
檢測(cè)項(xiàng)目6N 級(jí)指標(biāo)5.5N 級(jí)指標(biāo)| 氦（He）純度（體積分?jǐn)?shù)） | ≥99.9999 % | ≥99.9995 % |
| 一氧化碳 CO | ＜0.1 ppm | ＜1 ppm |
| 二氧化碳 CO? | ＜0.1 ppm | ＜1 ppm |
| 氮?dú)?N? | ＜0.5 ppm | ＜2 ppm |
| 氧氣 O? | ＜0.2 ppm | ＜0.5 ppm |
| 總烴（以 CH?計(jì)） | ＜0.1 ppm | ＜0.5 ppm |
| 水分 H?O | ＜0.2 ppm | ＜0.5 ppm |
| 雜質(zhì)總含量 | ≤1 ppm | ≤5 ppm |
| 顆粒 | 供需雙方協(xié)商確定 | 供需雙方協(xié)商確定 |
He 純度、CO、CO?、N?、O?、總烴：氦放電離子化氣相色譜法（仲裁方法）
水分：GB/T 5832.1 鏡面露點(diǎn)法
顆粒：按供需協(xié)議，采用氣體顆粒計(jì)數(shù)器檢測(cè)
適用于天然氣、空氣、弛放氣提取 / 純化得到的氣態(tài)、液態(tài)氦；半導(dǎo)體行業(yè)用作清洗氣、加壓氣、載氣、保護(hù)氣。
備注：顆粒不屬于強(qiáng)制必檢，合同無約定時(shí)可不做；其余 7 項(xiàng)為標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定必檢全項(xiàng)。
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