氣體 - 電子工業(yè)用氣體氬檢測(cè) 氬氣純度 氫含量 氮含量 氧含量水分含量 GB/T16945-被禁忌的游戲-情欲小說(shuō)錄目倫短篇500メイリン モデルコレクション メイ
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現(xiàn)行版本：GB/T ?05?01 實(shí)施，替代舊版 1997版；分為6N 級(jí)（99.9999%）、5.2N 級(jí)（99.9992%）兩個(gè)等級(jí)，單位：體積分?jǐn)?shù)ppm（10??）
表格
檢測(cè)項(xiàng)目6N 級(jí)（99.9999%）5.2N 級(jí)（99.9992%）氬（Ar）純度≥99.9999 %≥99.9992 %氫氣 H?＜0.1 ppm＜1 ppm氮?dú)?N?＜0.5 ppm＜5 ppm氧氣 O?＜0.2 ppm＜0.5 ppm水分 H?O＜0.2 ppm＜0.5 ppm標(biāo)準(zhǔn)全項(xiàng)還包含 CO、CO?、總烴（甲烷計(jì)）；顆粒指標(biāo)供需雙方協(xié)商；液態(tài)氬樣品必須氣化后再測(cè)水分。
H?、N?：氣相色譜法（熱導(dǎo)檢測(cè)器）
O?：GB/T 6285 氣體中微量氧測(cè)定（電化學(xué)法等）
H?O 水分：GB/T 5832.1（電解法） / GB/T5832.2（露點(diǎn)法），二法等效；也可采用光腔衰蕩光譜 GB/T5832.3
CO、CO?、總烴：GB/T 8984 系列氣相色譜法
氬純度：差減法，減去全部雜質(zhì)總和，不直接測(cè)氬主峰
瓶裝氬：金屬管路 + 針型閥，不得轉(zhuǎn)移樣品；管路、閥門吹洗置換至少 3 次；
液態(tài)氬：從液相取樣，完全氣化后進(jìn)樣；
全程避免管路吸附、外界空氣滲透污染，否則氧、水結(jié)果偏高。
GB/T16945：電子半導(dǎo)體級(jí)高純氬，雜質(zhì)控制 ppb?ppm 級(jí)別；
GB/T4842?2017《氬》：普通工業(yè)氬（焊接用），指標(biāo)寬松，不可混用。
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