氣體 - 電子工業(yè)用氣體氧檢測 氧純度 氫含量 氬含量 氮含量 總烴含量 二氧化碳含量 GB/T14604-夫夫的拼音是什么-小瑩的奶汁(h)全文閱讀

GB/T 14604?2009《電子工業(yè)用氣體 氧》中國標(biāo)準(zhǔn)在...

??標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：GB/T14604?2009 已被 GB/T 16942?2025替代，舊版仍可用于老合同，新項(xiàng)目優(yōu)先采用 2025 版中國標(biāo)準(zhǔn)在...。 適用：深冷 /電解法氣態(tài)、液態(tài)電子級氧氣，半導(dǎo)體氧化源、CVD、等離子蝕刻、光纖制備等場景中國標(biāo)準(zhǔn)在...。

技術(shù)指標(biāo)（體積分?jǐn)?shù)）

表格

檢測項(xiàng)目5N8 級（≥99.9998%）99.98 級99.5 級

氧純度	≥99.9998 %	≥99.98 %	≥99.5 %
氫 (H?) 含量	≤0.1×10??	≤1×10??	≤1×10??
氬 (Ar) 含量	≤1.0×10??	≤100×10??	—
氮 (N?) 含量	≤0.5×10??	≤30×10??	≤100×10??
二氧化碳 (CO?)	≤0.1×10??	≤1×10??	—
總烴（以 CH?計(jì)）	≤0.1×10??	≤1×10??	≤25×10??

補(bǔ)充本標(biāo)準(zhǔn)其它必檢雜質(zhì)：CO、N?O、NO、水分、顆粒（5N8 級有顆粒指標(biāo)）。

對應(yīng)檢測方法（GB/T14604?2009）

1. 氧純度、H?、Ar、N?：氣相色譜法；仲裁按標(biāo)準(zhǔn) 4.3

2. CO?、CO、N?O：附錄 B，潘寧放電色譜，仲裁附錄 B

3. 總烴（甲烷計(jì)）：執(zhí)行 GB/T 8984氣相色譜法，有異議以此為仲裁

4. NO：GB/T 14600 方法

檢測注意點(diǎn)

1. 樣品采樣：氣體管路必須鈍化處理，氧極易吸附管路雜質(zhì)，造成結(jié)果偏高；優(yōu)先金屬硬管，禁止普通橡膠管。

2. 5N8（99.9998%）屬于超高純氧，對儀器檢出限要求：0.1ppb級別，普通工業(yè)色譜無法滿足。

3. 報(bào)告單位：體積分?jǐn)?shù)（ppm/ppb），不能寫質(zhì)量分?jǐn)?shù)。

4. 新標(biāo)準(zhǔn) GB/T16942?2025 對雜質(zhì)、顆粒、水分指標(biāo)做更新，做新項(xiàng)目建議核對 2025 版指標(biāo)。

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