維意真空小型桌面磁控濺射鍍膜機(jī)支持定制
- 報(bào)價(jià)
- ￥268000.00元每臺(tái)
- 聯(lián)系手機(jī)
- 15611171559
- 漏率
- ＜1*10-11Pa m3/s
- 極限真空度
- 5*10-6Pa
- 磁控濺射靶
- 2個(gè)英寸永磁靶
MS-246小型多靶磁控濺射鍍膜機(jī)
真空腔室：1Cr18Ni9Ti優(yōu)質(zhì)不銹鋼材質(zhì)，氬弧焊接，上開(kāi)蓋和前開(kāi)門結(jié)構(gòu)；
真空系統(tǒng)：機(jī)械泵+分子泵（進(jìn)口和國(guó)產(chǎn)可選）；
極限真空：優(yōu)于8?10-5Pa（設(shè)備空載抽真空24h）；
真空抽速：大氣～8?10-4Pa≤30min；
升降基片臺(tái)：尺寸直徑100mm，高度60～120mm可調(diào)，旋轉(zhuǎn)0～20r/min可調(diào)，可加熱至300℃（可選水冷功能），可選配偏壓清洗功能；
磁控靶：直徑2英寸2只（可升級(jí)成3只），兼容直流和射頻，可以濺射磁性材料的靶材；
濺射電源：直流脈沖濺射電源、全自動(dòng)匹配的射頻濺射電源可任選；
質(zhì)量流量計(jì)：10sccm、50sccm質(zhì)量流量控制器各1套；
膜厚監(jiān)控儀：可選配國(guó)產(chǎn)或進(jìn)口單水冷探頭膜厚儀；
控制方式：PLC+觸摸屏控制系統(tǒng)，具備漏氣自檢與提示、通訊故障，實(shí)現(xiàn)一鍵抽停真空；
整機(jī)尺寸：L60cm?W60cm?H96cm機(jī)電一體化機(jī)架，預(yù)留1個(gè)CF35法蘭接口。
ALD，PE-ALD，PE-CVD，ALD/MO源瓶
技術(shù)推廣；組織文化藝術(shù)交流活動(dòng)（不含演出及棋牌娛樂(lè)）；銷售電氣機(jī)械、通用設(shè)備、專用設(shè)備、電子產(chǎn)品；委托加工；維修家用電器、儀器儀表。（依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后依批準(zhǔn)的內(nèi)容開(kāi)展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)。）
北京維意真空技術(shù)應(yīng)用有限責(zé)任公司，原名北京科立方真空技術(shù)應(yīng)用有限公司，創(chuàng)立于2013年，位于中國(guó)·首都北京密云經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)，主體經(jīng)營(yíng)分為真空配件銷售、真空設(shè)備定制、淺藍(lán)納米科技三個(gè)部分，是北京從事真空產(chǎn)品設(shè)計(jì)、制造、銷售、維修、保養(yǎng)于一體的專業(yè)性的公司，公司擁有一支專業(yè)、優(yōu)秀的產(chǎn)品技術(shù)工程師和維修技術(shù)工程師，具有豐富的行業(yè)經(jīng)驗(yàn)，同時(shí)還與北京工業(yè)大學(xué)聯(lián)合研發(fā)等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)，與北京交通大學(xué)聯(lián)合研發(fā)原子層沉積系統(tǒng)，滿足...