1. 濺射真空室組件1套,球型真空室尺寸Ф300mm，選用真空專用
304#不銹鋼材料制造氬弧焊接，表面進(jìn)行噴玻璃丸處理。各法
蘭口按超高真空系統(tǒng)設(shè)計，采用金屬密封。
2. 采用一套600L/S分子泵+4L/S機(jī)械泵通過CF150超高真空閘
板閥進(jìn)行主抽，通過CF35角閥旁抽。
3. 封接觀察窗2個， Ф100石英玻璃窗口1個(248nm紫外波段，
供激光入射用的)
4. 電磁隔斷放氣閥：（北京）KF40 1臺。
5. 分子泵與機(jī)械泵連接金屬波紋管 1套； 機(jī)械泵與真空室之間的
旁抽金屬波紋管管路及CF35角閥1套。
6. CF150閘板閥：用于分子泵與真空室隔離。
7. 真空測量及電控系統(tǒng)1套，ZDF數(shù)顯復(fù)合超高真空計（全部采
用金屬規(guī)管） 1臺 。
8. 總控電源：為機(jī)械泵、真空計等提供電源，有斷電斷水缺相保護(hù)
功能1套。
9. 機(jī)架：優(yōu)質(zhì)方鋼型材（40mm×40mm×3），焊接成，，四只腳
輪，可固定，可移動。
10. 附件相關(guān)規(guī)格的金屬密封銅圈，氟橡膠密封圈全套不銹鋼緊固螺
栓、螺母、墊片等；全套無氧銅密封墊圈（相關(guān)規(guī)格）CF16：3
個；CF35：3個；CF150：2個；CF100:4個；
11.相關(guān)的技術(shù)資料各類外購件使用說明書：設(shè)備結(jié)構(gòu)原理圖及關(guān)鍵部件結(jié)
構(gòu)圖（1套）電控系統(tǒng)原理結(jié)構(gòu)圖（1套）裝箱單（1套）設(shè)備出廠合
格檢驗證明（1套
11. 工作條件及主要技術(shù)參數(shù)：供電：～380V三相五線供電系統(tǒng)（容量
5KW）。相對濕度；≤80﹪。
ALD，PE-ALD，PE-CVD，ALD/MO源瓶
技術(shù)推廣；組織文化藝術(shù)交流活動（不含演出及棋牌娛樂）；銷售電氣機(jī)械、通用設(shè)備、專用設(shè)備、電子產(chǎn)品；委托加工；維修家用電器、儀器儀表。（依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后依批準(zhǔn)的內(nèi)容開展經(jīng)營活動。）
北京維意真空技術(shù)應(yīng)用有限責(zé)任公司，原名北京科立方真空技術(shù)應(yīng)用有限公司，創(chuàng)立于2013年，位于中國·首都北京密云經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)，主體經(jīng)營分為真空配件銷售、真空設(shè)備定制、淺藍(lán)納米科技三個部分，是北京從事真空產(chǎn)品設(shè)計、制造、銷售、維修、保養(yǎng)于一體的專業(yè)性的公司，公司擁有一支專業(yè)、優(yōu)秀的產(chǎn)品技術(shù)工程師和維修技術(shù)工程師，具有豐富的行業(yè)經(jīng)驗，同時還與北京工業(yè)大學(xué)聯(lián)合研發(fā)等離子體增強化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)，與北京交通大學(xué)聯(lián)合研發(fā)原子層沉積系統(tǒng)，滿足...