半導(dǎo)體廠里的“天車”即 OHT（Overhead Hoist Transport，架空式無人搬運車），是 AMHS的核心設(shè)備，負(fù)責(zé)在潔凈室吊頂軌道上 24 小時搬運FOUP（晶圓盒）和光罩盒?！熬郯滨ボ壍垒啞本褪切≤囋阡X合金或鋼制工字軌上行走的走行輪／驅(qū)動輪／導(dǎo)向輪——金屬輪芯＋聚氨酯（PU）包膠的復(fù)合結(jié)構(gòu)。單個零件雖小，卻直接關(guān)聯(lián)潔凈度、定位精度、振動和停機(jī)率，是Fab 里典型的“低成本、高風(fēng)險”耗材。

一、為什么幾乎清一色用聚氨酯

1、不掉屑、不污染：一體澆注成型、無填料脫落，磨損產(chǎn)物遠(yuǎn)少于橡膠；金屬對金屬摩擦被消除。

2、減震靜音：高回彈吸收軌道接縫、轉(zhuǎn)彎和啟停沖擊，保護(hù)薄晶圓（0.7mm 級）與光刻等敏感工序。

3、耐磨抗疲勞：耐磨性約為普通橡膠的 3–5 倍，能承受高頻啟停與持續(xù)重載。

4、防靜電：通過配方（非炭黑系或可控導(dǎo)電填料）把表面電阻調(diào)到目標(biāo)區(qū)間并接地導(dǎo)走電荷。

5、保護(hù)軌道：輪面硬度低于軌道硬度，磨損發(fā)生在可換的輪上而非軌道上。

二、選型要看的關(guān)鍵參數(shù)

材料體系：NDI（Vulkollan 類）＞ MDI ＞ TDI。NDI 內(nèi)發(fā)熱低、回彈好、耐水解耐疲勞，適合高速長里程；TDI成本低但耐熱和動態(tài)性能弱，高速 OHT 不建議?？梢蠊?yīng)商注明預(yù)聚體來源（巴斯夫/科思創(chuàng)/亨斯邁/萬華等）。

硬度：常見 Shore A 85–92（也有 75–95A區(qū)間）。越硬承載和尺寸穩(wěn)定性越好但減震差、噪音大；需在“滾阻/形變”與“振動/噪音”之間折中，且批次硬度公差應(yīng)控制在 ±2A以內(nèi)。

ESD 指標(biāo)：表面或體積電阻率目標(biāo)區(qū)間通常為 10?–10? Ω（不同廠規(guī)范差異很大，10?–10? Ω 較常見），按 IEC61340 系列測試，并要求整車輪系接地路徑連續(xù)。注意：防靜電不能靠加普通炭黑（會掉黑粉污染潔凈室），要用穩(wěn)定分散的導(dǎo)電體系。

潔凈度：顆粒釋放量、低釋氣（Low Outgassing）、無硅無鹵；表面粗糙度 Ra ≤ 0.2–0.8μm；能提供第三方潔凈檢測報告并與 Fab 的 ISO Class 等級對應(yīng)。

幾何精度：輪體同心度、徑向跳動（一般要求 ≤0.03–0.05mm）、動平衡，以及輪緣輪廓與軌道踏面的匹配。精度不達(dá)標(biāo)會直接引起天車跑偏、異響和振動超標(biāo)。

包膠工藝與結(jié)合強度：真空脫泡＋階梯升溫硫化或離心澆注，界面結(jié)合力要有數(shù)據(jù)；“無縫包膠”是防脫膠的關(guān)鍵工藝詞。

輪芯與軸承：鋁合金（輕量、散熱）或不銹鋼/碳鋼（強度高、耐蝕需處理）；軸承用雙密封深溝球或交叉滾子，潔凈室要用低揮發(fā)脂或干式方案。

溫域與化學(xué)環(huán)境：常規(guī) PU 長期上限約 60–80 ℃，超過要選耐熱改性；還要考慮清洗消毒劑（IPA 等）接觸與耐水解。

三、常見的失效模式與對策

脫膠／剝離：危險，碎屑污染潔凈室，嚴(yán)重時卡死甚至 FOUP 掉落。對策：無縫包膠工藝＋來料結(jié)合力抽檢＋壽命檔案。

偏磨、平斑、熱軟化：多由制動抱死、打滑空轉(zhuǎn)、軌道不平或超載引起。對策：查軌道平整度與對接縫、校核載重和加速度曲線。

異常振動：跳動超差、軸承磨損或動平衡不良，振動會傳給晶圓影響良率。對策：上線前做跳動檢測，運行中可用振動監(jiān)測做狀態(tài)維護(hù)。

靜電積聚吸附顆粒：電阻漂移或接地斷開。對策：定期復(fù)測電阻并檢查接地回路。