高純正庚烷——半導(dǎo)體硅片清洗和色譜分析中的“基準(zhǔn)溶劑”

正庚烷作為高純度烴類溶劑，在半導(dǎo)體硅片疏水化處理、顆粒物清洗以及有機(jī)合成反應(yīng)的溶劑領(lǐng)域均有使用。在硅片表面有機(jī)物去除工序，正庚烷對潤滑油類、烴類顆粒具有較佳的溶解去除能力。山東安達(dá)化工電子級正庚烷的純度≥99.5%（以正庚烷計，含異構(gòu)體總和≥99.0%），水分≤0.01%，芳烴含量≤10ppm，硫含量≤1ppm，蒸發(fā)殘渣≤2ppm。

該產(chǎn)品的重要指標(biāo)是芳烴和烯烴雜質(zhì)的控制——這些不飽和化合物在紫外光照射下可能發(fā)生聚合反應(yīng)，在硅片表面形成難以去除的聚合物膜層。山東安達(dá)化工采用加氫飽和與分子篩吸附組合工藝，將芳烴含量降低至10ppm以下，溴指數(shù)≤5mgBr/100g。產(chǎn)品經(jīng)0.1μm過濾后灌裝，灌裝線持續(xù)通入高純氮氣保護(hù)。

在半導(dǎo)體行業(yè)的色譜分析（GC-ECD）中，正庚烷也常作為低背景響應(yīng)的樣品稀釋溶劑使用。山東安達(dá)化工可為分析檢測客戶提供4L棕色瓶包裝的特制規(guī)格，瓶口內(nèi)塞為聚四氟乙烯材質(zhì)，避免溶劑與橡膠或塑料接觸引入雜質(zhì)。