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電子級甲酸——半導(dǎo)體清洗中的“溫和蝕刻劑”應(yīng)用解析

甲酸作為有機(jī)酸中酸性較強(qiáng)的品種,在半導(dǎo)體清洗和金屬表面處理中作為溫和的蝕刻和氧化物去除劑使用。在銅和釕等金屬的CMP后清洗環(huán)節(jié),甲酸能夠有效去除金屬氧化物而不對金屬本體造成過度腐蝕。山東安達(dá)化工電子級甲酸產(chǎn)品的含量≥99.0%(滴定法),水分≤0.5%,氯化物≤1ppm,liusuan鹽≤2ppm,鐵≤1ppm。

該產(chǎn)品的應(yīng)用需嚴(yán)格關(guān)注金屬雜質(zhì)和鹵素離子含量——氯化物和liusuan根離子在高溫工序中可能引發(fā)金屬布線腐蝕。山東安達(dá)化工采用蒸餾法和離子交換樹脂組合工藝,將Cl?和SO?2?分別控制在1ppm和2ppm以下。產(chǎn)品包裝采用氟化處理的高密度聚乙烯桶,內(nèi)蓋設(shè)防漏密封圈,外桶加裝防震泡沫。

在新型顯示領(lǐng)域的IGZO(銦鎵鋅氧化物)背板蝕刻工藝中,甲酸基蝕刻液對IGZO薄膜具有較好的蝕刻選擇性和均勻性。山東安達(dá)化工可配合面板企業(yè)進(jìn)行蝕刻液配方的聯(lián)合開發(fā),提供高純度甲酸作為基礎(chǔ)原料。


關(guān)鍵詞

電子級甲酸

更新時間
皇冠會員
第1年
統(tǒng)一社會信用代碼
91370303MAEHUP6U3K
成立日期
2025年04月21日

主營產(chǎn)品

TBPB過氧化苯甲酸叔丁酯 三異丙醇胺,二甘醇胺,DMDEE,DL-氨基丙醇,三 二乙醇胺,偶氮二甲酰胺,乙醇鈉 甲醇鈉,丙二醇 MMA 丁二酸酐,氫氧化鋰 DMAC DMSO TBPB過氧化物

公司簡介

山東安達(dá)化工科技有限公司是一家專注于精細(xì)化學(xué)品研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的高新技術(shù)企業(yè),致力于為全球客戶提供高品質(zhì)的化工產(chǎn)品及定制化解決方案。公司依托先進(jìn)的生產(chǎn)工藝、嚴(yán)格的質(zhì)量管理體系以及的技術(shù)服務(wù)團(tuán)隊,在醫(yī)藥、農(nóng)藥、涂料、電子、新能源、塑料橡膠、紡織印染等多個領(lǐng)域建立了良好的市場聲譽(yù)。核心產(chǎn)品與業(yè)務(wù)領(lǐng)域  公司主營產(chǎn)品涵蓋有機(jī)胺類、催化劑、固化劑,溶劑、中間體及新能源材料等多元化品類,具體包括:  1. 胺類系列 異丙醇胺系列:一異丙醇胺、二異...

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