氦檢漏是以氦氣為示蹤氣體、配合氦質(zhì)譜檢漏儀實(shí)現(xiàn)微泄漏定位與定量的高精度氣密性檢測技術(shù)，核心是利用氦氣分子量小、惰性、空氣中本底極低（約5ppm）的特性，通過質(zhì)譜儀只識別氦離子，實(shí)現(xiàn) 10?12 Pa?m3/s級超高靈敏度，是航空航天、半導(dǎo)體、新能源電池、制冷、真空設(shè)備等領(lǐng)域的檢漏金標(biāo)準(zhǔn)。

一、核心原理

氦氣分子直徑僅 0.26nm，極易穿透微小漏孔；氦質(zhì)譜檢漏儀將氣體電離，利用磁場分離質(zhì)荷比，僅氦離子（質(zhì)量數(shù)4）能到達(dá)收集極，轉(zhuǎn)化為電信號，信號強(qiáng)度與漏率成正比，從而定量、定位泄漏。

二、主流檢測方法（按工況分）

1. 真空噴氦法（內(nèi)吸外噴，常用）：將被測件內(nèi)部抽真空，連接檢漏儀；用氦噴槍在外部焊縫、法蘭、密封面逐點(diǎn)噴氦，漏點(diǎn)處氦氣進(jìn)入內(nèi)部被檢測，聲光報(bào)警并顯示漏率，適合大型真空容器、管道、閥門的局部定位，靈敏度10??~10?12 Pa?m3/s。

2. 正壓吸槍法（內(nèi)充外吸）：被測件內(nèi)部充入氦氣（純氦或 10%~50%氦氮混合氣，壓力至工作壓力），用吸槍探頭在外部掃描，捕捉漏出的氦氣，適合無法抽真空的壓力容器、電池包、制冷系統(tǒng)，靈敏度10??~10?? Pa?m3/s。

3. 真空箱法（累積法）：工件放入真空箱，箱內(nèi)抽高真空，工件內(nèi)充氦；漏出的氦在箱內(nèi)累積，質(zhì)譜儀檢測總漏率，適合小型精密件（傳感器、密封件、芯片腔體）的整體定量檢漏，靈敏度高。

4. 氦罩法：用密封罩包裹工件，內(nèi)部充氦或抽真空，檢測罩內(nèi)氦濃度變化，適合大型容器、儲罐的整體漏率評估，可定量但難定位。