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中葦電子科技（上海）有限公司是一家專業(yè)從事自動化控制行業(yè)，擁有強(qiáng)大的技術(shù)力量和完善的服務(wù)支持。目前在半導(dǎo)體行業(yè)紡織機(jī)械、印刷機(jī)械、醫(yī)藥包裝機(jī)械、玻璃機(jī)械、焊接機(jī)械、機(jī)床行業(yè)、木工機(jī)械、供水、輸送機(jī)械、試驗(yàn)機(jī)、冶金、煤礦、太陽能光伏、晶圓制造、及航天等領(lǐng)域均有成熟的應(yīng)用案例和成套解決方案。并在藍(lán)寶石，砷化鎵，單晶硅等半導(dǎo)體行業(yè)涉及的工藝，半導(dǎo)體設(shè)備改造，潔凈環(huán)境，純水系統(tǒng)，環(huán)保，動力建設(shè)有著豐富的行業(yè)經(jīng)驗(yàn)。

半導(dǎo)體設(shè)備事業(yè)部：主營SEMITOOL甩干機(jī)，內(nèi)圓切片機(jī)，倒角機(jī)，拋光機(jī)，單晶爐，多晶爐，退火爐，充氧爐等半導(dǎo)體行業(yè)設(shè)備以及性能的二手設(shè)備。

行業(yè)設(shè)備售后部：主營半導(dǎo)體，機(jī)械，紡織等行業(yè)設(shè)備維修，翻新，改造，技術(shù)服務(wù)，技術(shù)咨詢等業(yè)務(wù)。

電子備件部：主營變頻器、PLC、人機(jī)界面、數(shù)控系統(tǒng)、伺服電機(jī)、變頻電機(jī)、直線導(dǎo)軌、絲杠軸承、減速機(jī)、傳感器、低壓電器、儀器儀表、氣動等產(chǎn)品，品種齊全、價(jià)格合理。目前是SANYO(三洋)、東方馬達(dá)（ORIENTAL）、富士、臺達(dá)、eview、步科、昆侖通泰、和泉、施耐德、三菱、日本島電、天得、山河、希曼頓、安良等品牌的授權(quán)代理商，并且對各個(gè)品牌提供售后維修服務(wù)。

維修服務(wù)部：中葦維修中心提供專業(yè)伺服器維修,伺服驅(qū)動器維修,伺服放大器維修,伺服控制器維修,電路板維修,變頻器維修,觸摸屏維修,工控機(jī)維修,直流調(diào)速器維修,軟啟動器維修,光柵尺維修,照排機(jī)維修,電源模塊維修,plc維修,編碼器維修,電路板復(fù)制等維修項(xiàng)目。

中葦電子科技（上海）有限公司尊崇踏實(shí)、拼搏、責(zé)任的企業(yè)精神，并以誠信、共贏、開創(chuàng)經(jīng)營理念，創(chuàng)造良好的企業(yè)環(huán)境，以全新的管理模式，完善的技術(shù)，周到的服務(wù)，卓越的品質(zhì)為生存根本，我們始終堅(jiān)持用戶至上用心服務(wù)于客戶，堅(jiān)持用自己的服務(wù)去打動客戶。

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SEMITOOL產(chǎn)品中的SRD旋轉(zhuǎn)沖洗甩干機(jī)是根據(jù)國際、國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展和市場需求，研究開發(fā)的旋轉(zhuǎn)沖洗甩干設(shè)備。該機(jī)型具有高潔凈度旋轉(zhuǎn)沖洗甩干功能。本系列機(jī)型可以適應(yīng)從φ25mm 到φ200mm直徑（包括方形和其它特殊形狀）片式材料的旋轉(zhuǎn)沖洗甩干工藝?？捎糜诎雽?dǎo)體晶片、砷化鎵材料、掩膜版、太陽能電池基片、藍(lán)寶石、鈮酸鋰、光學(xué)鏡片、磁盤、光盤、醫(yī)用玻璃基片等類似材料的高潔凈度沖洗甩干。是半導(dǎo)體濕法清洗工藝中必不可少的主流設(shè)備之一。

SEMITOOL psc-101旋轉(zhuǎn)清洗干燥機(jī)

描述：

SEMITOOLpsc-101旋轉(zhuǎn)清洗干燥機(jī)采用去離子水沖洗和加熱的氮?dú)飧稍锶詣泳r底后的濕化學(xué)方法。有兩個(gè)雙層干衣機(jī)和潔凈室中一堆烘干機(jī)。該系統(tǒng)使用一個(gè)可編程的方法來自動處理晶圓。

規(guī)格/性能：

一種電阻率探針可監(jiān)測浴中的化學(xué)濃度（稱為“漂洗電阻率”），以確保完全去除化學(xué)品。

無點(diǎn)式干燥氮?dú)饧訜崞鳌?/p>

可編程的食譜包括漂洗，質(zhì)量沖洗，清洗，和干燥周期。

支持樣本量：

Zui大晶片直徑：200毫米（8英寸）

晶圓直徑：75毫米（3英寸），100毫米（4英寸），150毫米（6英寸），和200毫米（8英寸）。

掩模尺寸：125毫米（5英寸），150毫米（6英寸）。

支持的小片段：沒有。

典型應(yīng)用：

晶圓和掩模清洗和干燥。

二、解決方案

根據(jù)客戶產(chǎn)品及要求，對SEMITOOL甩干機(jī)進(jìn)行工裝及載體設(shè)計(jì)，以及后期的工藝參數(shù)調(diào)整。為客戶提供方案設(shè)計(jì)，模擬實(shí)驗(yàn)，現(xiàn)場應(yīng)用等一體化技術(shù)服務(wù)。

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