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報(bào)價(jià)
¥1000.00元每臺(tái)
聯(lián)系手機(jī)
17091315559
品牌
semitool
型號(hào)
870s
控制系統(tǒng)
PSC-101

中葦電子科技有限公司供應(yīng)SEMITOOLSRD甩干機(jī),semitool原裝備件配件供應(yīng)商,semitool密封門(mén),semitool窗口,semitooldoor ,SEMITOOL定位氣缸,psc-101控制器,LC-5 LC-4驅(qū)動(dòng)器,semitool轉(zhuǎn)子

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SEMITOOL產(chǎn)品中的SRD旋轉(zhuǎn)沖洗甩干機(jī)是根據(jù)國(guó)際、國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展和市場(chǎng)需求,研究開(kāi)發(fā)的旋轉(zhuǎn)沖洗甩干設(shè)備。該機(jī)型具有高潔凈度旋轉(zhuǎn)沖洗甩干功能。本系列機(jī)型可以適應(yīng)從φ25mm 到φ200mm直徑(包括方形和其它特殊形狀)片式材料的旋轉(zhuǎn)沖洗甩干工藝??捎糜诎雽?dǎo)體晶片、砷化鎵材料、掩膜版、太陽(yáng)能電池基片、藍(lán)寶石、鈮酸鋰、光學(xué)鏡片、磁盤(pán)、光盤(pán)、醫(yī)用玻璃基片等類(lèi)似材料的高潔凈度沖洗甩干。是半導(dǎo)體濕法清洗工藝中必不可少的主流設(shè)備之一。

 

 

SEMITOOL psc-101旋轉(zhuǎn)清洗干燥機(jī)

描述:

SEMITOOLpsc-101旋轉(zhuǎn)清洗干燥機(jī)采用去離子水沖洗和加熱的氮?dú)飧稍锶詣?dòng)晶片襯底后的濕化學(xué)方法。有兩個(gè)雙層干衣機(jī)和潔凈室中一堆烘干機(jī)。該系統(tǒng)使用一個(gè)可編程的方法來(lái)自動(dòng)處理晶圓。

規(guī)格/性能:

一種電阻率探針可監(jiān)測(cè)浴中的化學(xué)濃度(稱(chēng)為“漂洗電阻率”),以確保完全去除化學(xué)品。

無(wú)點(diǎn)式干燥氮?dú)饧訜崞鳌?/p>

可編程的食譜包括漂洗,質(zhì)量沖洗,清洗,和干燥周期。

支持樣本量:

Zui大晶片直徑:200毫米(8英寸)

晶圓直徑:75毫米(3英寸),100毫米(4英寸),150毫米(6英寸),和200毫米(8英寸)。

掩模尺寸:125毫米(5英寸),150毫米(6英寸)。

支持的小片段:沒(méi)有。

典型應(yīng)用:

晶圓和掩模清洗和干燥。





 

 

 

一、主要達(dá)到的技術(shù)性能指標(biāo)

1.電源及電氣控制安全性技術(shù)要求

1.1 電壓:AC220V/110V

1.2 頻率:50Hz±1Hz

1.3 功率:3kW

1.4 整機(jī)絕緣電阻大于2MΩ(用1000V兆歐表測(cè))

1.5 各功能開(kāi)關(guān)、按鍵、安全互鎖功能、緊急開(kāi)關(guān)應(yīng)使用靈活、動(dòng)作可靠。

1.6 設(shè)備表面平整、光滑、色調(diào)一致。設(shè)備內(nèi)、外各種安全、警告標(biāo)志齊全。

1.7 在設(shè)備接地標(biāo)志處可靠接地。

2.使用氮?dú)獾南嚓P(guān)安全性技術(shù)要求

2.1 使用氮?dú)鈮毫Γ?nbsp;       0.23~0.28MPa(Max)

2.2 使用氮?dú)夂牧浚?nbsp;       200~280L/min (單腔)

2.3 氮?dú)饨涌诠軓剑?nbsp;       OD  3/8 英寸(紅色標(biāo)記)

2.4 氮?dú)膺^(guò)濾精度:         ≤0.1μm(或按用戶(hù)要求配置)

2.5 設(shè)備用氮?dú)饨尤胩帨p壓閥位置應(yīng)有明顯禁調(diào)標(biāo)志,嚴(yán)禁設(shè)備在高于氮?dú)庠O(shè)定壓力時(shí)操作運(yùn)行。(提示用戶(hù)按要求配置)

2.6 未經(jīng)過(guò)潔凈化處理的氮?dú)夤苈穱?yán)禁直接接入設(shè)備使用,避免對(duì)設(shè)備造成污染

3.去離子水的相關(guān)安全性技術(shù)要求

3.1 使用去離子水壓力:     0.25~0.3MPa(推薦)

3.2 使用去離子水耗量:      8~12L/min (單腔)

3.3 去離子水接口管徑:      OD  3/8 英寸(藍(lán)色標(biāo)記)

3.4 設(shè)備排水口管徑:        OD  32mm(UPVC管)

3.5  未安裝過(guò)濾器或未經(jīng)過(guò)潔凈化處理的去離子水管路嚴(yán)禁直接接入設(shè)備使用,避免對(duì)設(shè)備造成污染。

生產(chǎn)廠家

國(guó)產(chǎn)型

SEMITOOL

VERTEQ

型號(hào)

雙腔型

STI-8700S

1800-55M

Zui大加工直徑mm

工作腔數(shù)量(個(gè))

旋轉(zhuǎn)速度r/min

氮?dú)膺^(guò)濾精度μm

電阻率監(jiān)控

防靜電控制

氮?dú)饷芊?/p>

氮?dú)夂娓?/p>

腔體表面處理

驅(qū)動(dòng)電機(jī)

管件

控制器

顯示及程序

 

200

2

100-2600

0.003

有

有

有

有

電化學(xué)拋光

無(wú)刷電機(jī)

高純管件

PLC可編程控制

彩色液晶漢顯+99工藝菜單

200

2

300-2800

0.003

有

有

有

有

電化學(xué)拋光

無(wú)刷電機(jī)

高純管件

單片微處理器

數(shù)碼管

手動(dòng)

200

2

300-2800

0.003

有

有

有

有

電化學(xué)拋光

無(wú)刷電機(jī)

高純管件

PLC可編程控制

液晶+99種工藝菜單

 

 

二、解決方案

根據(jù)客戶(hù)產(chǎn)品及要求,對(duì)SEMITOOL甩干機(jī)進(jìn)行工裝及載體設(shè)計(jì),以及后期的工藝參數(shù)調(diào)整。為客戶(hù)提供方案設(shè)計(jì),模擬實(shí)驗(yàn),現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)用等一體化技術(shù)服務(wù)。

關(guān)鍵詞

SEMITOOL甩干機(jī) , OEM甩干機(jī) , Semitool , SRD備件 , PSC-101控制器

更新時(shí)間
統(tǒng)一社會(huì)信用代碼
91310109MA1G52KE8X
成立日期
2016年02月06日
法定代表人
趙文燕
注冊(cè)資本
100

主營(yíng)產(chǎn)品

半導(dǎo)體甩干機(jī)維修,晶圓切片機(jī)備件,工業(yè)變頻器PLC維修,伺服驅(qū)動(dòng)器維修

經(jīng)營(yíng)范圍

電子科技、網(wǎng)絡(luò)信息領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)開(kāi)發(fā)、技術(shù)轉(zhuǎn)讓、技術(shù)咨詢(xún)、技術(shù)服務(wù),企業(yè)管理咨詢(xún),商務(wù)咨詢(xún),機(jī)電設(shè)備安裝建設(shè)工程專(zhuān)業(yè)施工及維修(除特種);銷(xiāo)售計(jì)算機(jī)、軟件及輔助設(shè)備,電子產(chǎn)品,機(jī)械設(shè)備,五金交電,機(jī)電設(shè)備,電子元器件,電子設(shè)備,儀器儀表,橡膠制品,化工產(chǎn)品批發(fā)(除危險(xiǎn)化學(xué)品、監(jiān)控化學(xué)品、煙花爆竹、民用...

公司簡(jiǎn)介

中葦電子科技(上海)有限公司是一家專(zhuān)業(yè)從事自動(dòng)化控制行業(yè),擁有強(qiáng)大的技術(shù)力量和完善的服務(wù)支持。目前在半導(dǎo)體行業(yè)紡織機(jī)械、印刷機(jī)械、醫(yī)藥包裝機(jī)械、玻璃機(jī)械、焊接機(jī)械、機(jī)床行業(yè)、木工機(jī)械、供水、輸送機(jī)械、試驗(yàn)機(jī)、冶金、煤礦、太陽(yáng)能光伏、晶圓制造、及航天等領(lǐng)域均有成熟的應(yīng)用案例和成套解決方案。并在藍(lán)寶石,砷化鎵,單晶硅等半導(dǎo)體行業(yè)涉及的工藝,半導(dǎo)體設(shè)備改造,潔凈環(huán)境,純水系統(tǒng),環(huán)保,動(dòng)力建設(shè)有著豐富的行業(yè)經(jīng)驗(yàn)。   半導(dǎo)體設(shè)備事業(yè)部:主營(yíng)se...

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