djm-13b-6l雙面精密研磨拋光機

——Zui適合手機面板的拋光機

產(chǎn)品用途

本機主要用于硅片，光學(xué)玻璃，陶瓷片，石英晶體及其他半導(dǎo)體材料的雙面研磨或拋光，也可用于其他硬脆材料的雙面高精度研磨加工或拋光加工。

主要特點

1. 高性能變頻器配合變頻電動機，實現(xiàn)了軟啟動，軟停止，調(diào)速穩(wěn)定，沖擊性小。
2. 采用二電機同步拖動，可選擇游星輪的變速范圍更廣，能適應(yīng)不同的研磨材料及研磨工藝的要求。
3. 內(nèi)齒圈抬升由油壓控制，在總行程范圍內(nèi)隨意停留自鎖，滿足了取放工件及調(diào)整游星輪嚙合位置的要求，太陽輪高度調(diào)節(jié)只需調(diào)節(jié)太陽輪座上的三組不銹鋼片厚度，十分方便。
4. 主軸傳動采用斜齒輪傳動，運轉(zhuǎn)平穩(wěn)。
5. 采用plc控制，壓力采用電—氣比例閥與拉力傳感器進(jìn)行閉環(huán)反饋控制，系統(tǒng)整個壓力過程可根據(jù)工藝要求實行控制。
6. 應(yīng)用人機界面（pt）與plc通訊，一方面顯示運行參數(shù)，另一方面可通過觸摸鍵調(diào)整設(shè)定各項工藝參數(shù)。
7. 采用集中潤滑裝置，各相對運行表面，齒輪嚙合部位都可得到充分潤滑，大大提高了整機的使用壽命。
8. 研磨機配置了高精度的測厚裝置，工件加工的動態(tài)情況通過（pt）顯示器隨時可見。
9. 拋光機配置特殊拋光液存儲器，可根據(jù)用戶的加工工藝要求，調(diào)節(jié)拋光液的溫度。

主要技術(shù)參數(shù)

1. 上磨盤尺寸：φ927×φ406×45mm
2. 下磨盤尺寸：φ927×φ406×45mm
3. 磨盤轉(zhuǎn)速：0~60rpm
4. 游星輪參數(shù)：公制m=2，z=158，α=20o

英制dp=12，z=147，α=20o

1. 游星輪數(shù)量：6個
2. Zui小研磨厚度：（φ10）
3. Zui大研磨直徑：φ270mm
4. 主電機：，380v，1440rpm
5. 太陽輪電機：，380v，1440rpm
6. 氣源：
7. 設(shè)備外形尺寸（長×寬×高）：1550mm×1200mm×2700mm
8. 機器重量：4000kg

主機精度

1. 下拋光盤端跳：
2. 上下拋光盤平面度：
3. 太陽輪經(jīng)向跳動：
4. 內(nèi)齒圈經(jīng)向跳動：

加工能力

1. 單片承量：8片/φ75mm，5片/φ100mm
2. 整盤承片量：48片/φ75mm，30片/φ100mm