18b研磨拋光機(jī)主要適用6英寸（含）以下硅片雙面精密研磨加工，同時(shí)適用于光學(xué)玻璃，石英晶片，寶石片，鈮酸鋰，陶瓷片及其他硬脆材料的雙面研磨加工或拋光。

主要特點(diǎn)：

1.進(jìn)口變頻器配合變頻電機(jī)拖動(dòng)，實(shí)現(xiàn)了軟啟動(dòng)，軟停止，調(diào)速穩(wěn)定，沖擊小。
2.采用二電機(jī)同步拖動(dòng)，可選擇游星輪的變速范圍更廣，能適用不同的研磨材料及研磨工藝的要求。
3.單獨(dú)電機(jī)抬升內(nèi)齒圈，并在總行范圍內(nèi)隨意停留，滿足了取放工件及調(diào)整游星輪嚙合位置的要求。通過調(diào)節(jié)太陽輪座上的三組不同的厚度的不銹鋼片改變太陽輪高度，調(diào)整方法簡(jiǎn)便。
4.采用國(guó)內(nèi)先進(jìn)的防腐技術(shù)對(duì)齒圈座的下磨盤座進(jìn)行處理，大大提高了其耐蝕性，繼而也提高并能長(zhǎng)期保證底座安裝精度。
5.電氣系統(tǒng)采用可靠性高的plc實(shí)現(xiàn)。氣動(dòng)系統(tǒng)全部選用高品質(zhì)的知名品牌元件，主氣缸為精密低摩擦力氣缸，壓力調(diào)整采用高動(dòng)態(tài)特性的進(jìn)口電氣比例閥元件。
6.壓力調(diào)整采用電氣比例閥與拉力傳感器實(shí)現(xiàn)了閉環(huán)反饋控制，其靜態(tài)調(diào)整精度＜2kg,動(dòng)態(tài)壓力波動(dòng)＜30kg?？商岣吖ぜ绕涫潜⌒喂ぜ募庸し€(wěn)定性，進(jìn)而確保提高元件加工精度及合格率。
7.人機(jī)界面（hmi）顯示與plc主控制器結(jié)合，一方面顯示運(yùn)行參數(shù)，另一方面通過其他觸摸鍵調(diào)整設(shè)定各項(xiàng)參數(shù)，主操作由普通鍵鈕完成。
8.采用自動(dòng)潤(rùn)滑裝置，用戶可根據(jù)自己的使用情況，設(shè)定自動(dòng)潤(rùn)滑時(shí)間，使機(jī)器的各相對(duì)運(yùn)動(dòng)表面，齒輪嚙合部位得到充分潤(rùn)滑，大大提高了整機(jī)的使用壽命。
9.研磨機(jī)配置了高精度的測(cè)厚裝置，工件加工的動(dòng)態(tài)情況通過hmi隨時(shí)可見。
10.可根據(jù)用戶的加工工藝要求，選裝拋光液溫度調(diào)節(jié)裝置（單制或雙制均可）。

主要技術(shù)參數(shù)

磨盤轉(zhuǎn)速： 0~60rpm
游行輪參數(shù)：公制m=3，z=154，a=20°
游行輪數(shù)量：5個(gè)
Zui小研磨厚度：5/φ200mm,0.4/φ150mm
Zui大可控研磨厚度：20mm（可根據(jù)要求特殊定制）
Zui大研磨直徑：φ400mm
主電機(jī)：15kw4級(jí)三相ac380v
太陽輪電機(jī)：1.5kw4級(jí)三相ac380v
內(nèi)齒圈電機(jī)：1.5kw4級(jí)三相ac380v
氣源：0.5~0.7mpa
外型尺寸：2500×1650×3000mm
機(jī)器重量：~7000kg
砂泵電機(jī)（帶攪拌）：4kwac380v
主機(jī)精度
下研磨盤端面跳動(dòng)：0.08mm
淹沒面平面度：0.02mm
太陽輪徑向跳動(dòng)：0.20mm
內(nèi)齒圈徑向跳動(dòng)：0.25mm
加工精度（四個(gè)修正輪修研后）
一致性：0.008mm
平面度：0.005m
平行度：0.006mm
加工能力
單片承片量：φ1704片，φ2002片
整盤承片量：φ17020片，φ20010片