djm-13b-6l雙面精密研磨拋光機(jī)

——Zui適合手機(jī)面板的拋光機(jī)

產(chǎn)品用途

本機(jī)主要用于硅片，光學(xué)玻璃，陶瓷片，石英晶體及其他半導(dǎo)體材料的雙面研磨或拋光，也可用于其他硬脆材料的雙面高精度研磨加工或拋光加工。

主要特點(diǎn)

1. 高性能變頻器配合變頻電動(dòng)機(jī)，實(shí)現(xiàn)了軟啟動(dòng)，軟停止，調(diào)速穩(wěn)定，沖擊性小。
2. 采用二電機(jī)同步拖動(dòng)，可選擇游星輪的變速范圍更廣，能適應(yīng)不同的研磨材料及研磨工藝的要求。
3. 內(nèi)齒圈抬升由油壓控制，在總行程范圍內(nèi)隨意停留自鎖，滿足了取放工件及調(diào)整游星輪嚙合位置的要求，太陽(yáng)輪高度調(diào)節(jié)只需調(diào)節(jié)太陽(yáng)輪座上的三組不銹鋼片厚度，十分方便。
4. 主軸傳動(dòng)采用斜齒輪傳動(dòng)，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)。
5. 采用plc控制，壓力采用電—?dú)獗壤y與拉力傳感器進(jìn)行閉環(huán)反饋控制，系統(tǒng)整個(gè)壓力過(guò)程可根據(jù)工藝要求實(shí)行控制。
6. 應(yīng)用人機(jī)界面（pt）與plc通訊，一方面顯示運(yùn)行參數(shù)，另一方面可通過(guò)觸摸鍵調(diào)整設(shè)定各項(xiàng)工藝參數(shù)。
7. 采用集中潤(rùn)滑裝置，各相對(duì)運(yùn)行表面，齒輪嚙合部位都可得到充分潤(rùn)滑，大大提高了整機(jī)的使用壽命。
8. 研磨機(jī)配置了高精度的測(cè)厚裝置，工件加工的動(dòng)態(tài)情況通過(guò)（pt）顯示器隨時(shí)可見。
9. 拋光機(jī)配置特殊拋光液存儲(chǔ)器，可根據(jù)用戶的加工工藝要求，調(diào)節(jié)拋光液的溫度。

主要技術(shù)參數(shù)

1. 上磨盤尺寸：φ927×φ406×45mm
2. 下磨盤尺寸：φ927×φ406×45mm
3. 磨盤轉(zhuǎn)速：0~60rpm
4. 游星輪參數(shù)：公制m=2，z=158，α=20o

英制dp=12，z=147，α=20o

1. 游星輪數(shù)量：6個(gè)
2. Zui小研磨厚度：（φ10）
3. Zui大研磨直徑：φ270mm
4. 主電機(jī)：，380v，1440rpm
5. 太陽(yáng)輪電機(jī)：，380v，1440rpm
6. 氣源：
7. 設(shè)備外形尺寸（長(zhǎng)×寬×高）：1550mm×1200mm×2700mm
8. 機(jī)器重量：4000kg

主機(jī)精度

1. 下拋光盤端跳：
2. 上下拋光盤平面度：
3. 太陽(yáng)輪經(jīng)向跳動(dòng)：
4. 內(nèi)齒圈經(jīng)向跳動(dòng)：

加工能力

1. 單片承量：8片/φ75mm，5片/φ100mm
2. 整盤承片量：48片/φ75mm，30片/φ100mm