分子增壓泵的特點(diǎn)       由分子增壓泵工作機(jī)理和結(jié)構(gòu)決定了該泵具有一系列特點(diǎn)供人矚目。 1.工作壓力高。只要預(yù)抽壓力低于100Pa即可切入工作。預(yù)抽時(shí)間縮短；提高預(yù)抽壓力可有效抑制前級(jí)泵的返油。 2.分子增壓泵開始抽氣便進(jìn)入所謂“恒流量”工作模式（相關(guān)文章曾做過介紹），中真空有很高的抽氣效率。 3.節(jié)省了羅茨增壓泵。 4.分子增壓泵對(duì)前級(jí)泵的抽速要求較低。 5.很強(qiáng)的抗高壓強(qiáng)甚至大氣的沖擊能力。 6.軸承尺寸小，機(jī)械軸承的壽命超過2萬小時(shí)。

為了在系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)無碳?xì)浠衔镞@一要求，在前級(jí)泵不是干式泵的情況下，有必要了解渦輪分子泵的壓縮比及如何給泵充氣的一些基本知識(shí)。2、壓縮比  渦輪分子泵的壓縮比是指前級(jí)管道（排氣口處）的壓力與進(jìn)氣口處的壓力之比。由于被抽氣體的分子量不同，泵對(duì)各種氣體的壓縮比也不同。氣體分子量M的平方根與壓縮比K 的關(guān)系如圖6所示，泵對(duì)氫的壓縮比很小，一般為1000 左右，這樣一來如果前級(jí)管道中氫的壓力為1 10- 7Torr（13.33 Pa），那么進(jìn)氣口處氫的壓力則小1000倍，即為1 10- 10 Torr（13.33nPa）。由于氫是超高真空系統(tǒng)中主要的殘余氣體，所以氫的壓縮比是決定渦輪分子泵的極限壓力的關(guān)鍵因素。   

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