1. 渦輪分子泵的工作原理 此處的所謂“陷阱”比喻的是一種結(jié)構(gòu)，使得氣體分子沿某方向容易通過，而反方向難以通過。先看生活中的一個(gè)例子，圖1是捕捉黃鱔的竹簍，這種結(jié)構(gòu)使得黃鱔很容易從入口進(jìn)入底部覓食，而極難從反方向逃逸，這便是一種陷阱。再看圖2，這是一個(gè)假想的隘口，由于設(shè)計(jì)成這樣的構(gòu)造，顯然，人從兩個(gè)方向通過的難易程度是不一樣的，如果人平均出現(xiàn)在入口的任一位置，那么從左向右，比從右向左容易通過，比例大約是5：1，這也是一種陷阱。對于圖2的模型，可以引入一個(gè)物理量——傳輸幾率，它可以這樣來理解，以均等機(jī)會(huì)（概率相等）出現(xiàn)在入口任一位置的人通過隘口的可能性（概率）。顯然對于圖2，從左向右的傳輸幾率為1，即都能通過，而從右向左的傳輸幾率約1/5，即平均5人有1人可以通過。因此，如果起始時(shí)，隘口兩邊的人數(shù)相等，隨后，便慢慢地在右邊逐漸增多。傳輸幾率在氣體分子的運(yùn)動(dòng)中是一個(gè)非常重要的概念，比如氣體分子通過一個(gè)長圓形管道，其難易程度可用該管道的傳輸幾率來表征。當(dāng)管道的長徑比（l/r）一定時(shí)，傳輸幾率是確定的，并且通常兩個(gè)方向的傳輸幾率也相同。

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多數(shù)渦輪分子泵對于輸送輕氣體（如氫、氦）的能力很強(qiáng)。因而它非常適于超高真空下的工藝操作。對于那些富氫的工藝過程，氦質(zhì)譜檢漏儀等場合均可得到應(yīng)用。有專門設(shè)計(jì)用于抽除腐蝕性氣體的渦輪分子泵，適用于刻蝕、反應(yīng)離子刻蝕，離子束加工，低壓化學(xué)氣相沉積，外延及離子注入等工藝操作。在這些工藝過程中，抽除的氣體會(huì)對低溫泵、離子泵、擴(kuò)散泵油等有腐蝕作用。甚至也會(huì)破壞標(biāo)準(zhǔn)的未加保護(hù)的渦輪分子泵。由于渦輪分子泵屬于傳輸型泵，被抽氣體可穿膛而過，不在泵內(nèi)積存。因而它適于氣體負(fù)荷高的工藝過程。如濺射、刻蝕等。