分子泵維修：操作規(guī)程 檢查水路各閥門是否能打開，水流是否通暢。做好開機前的準備工作后，就可以按下總電源控制面板上的“機械泵開”按鈕啟動機械泵，這時“機械泵開”按鈕顯示燈亮。開真空計，等待真空計低真空部分顯示＜10Pa時，打開手動旁抽閥，由旁抽管路對系統(tǒng)預抽真空。待低真空顯示＜10Pa時，關閉手動旁抽閥。開手動前級閥。真空顯示＜10Pa時，打開分子泵電源，按下分子泵控制電源面板上的“啟動”按鈕，啟動分子泵。待分子泵達到正常轉(zhuǎn)速后3～5分鐘，這時應該已經(jīng)達到真空計電離規(guī)允許啟動的真空度，按下真空計控制電源電離部分的“開電離”按鈕，觀察真空計高真空數(shù)值。

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一臺密封和除氣良好的渦輪分子泵，配以性能良好的雙級旋片泵（或同樣性能的干式前級泵），其極限真空一般可達到10- 9～10-10Torr（即133.3～13.33 nPa）之間。若一臺渦輪分子泵再串一臺渦輪分子泵，用金屬密封并除氣良好的泵，一般其極限壓力在110- 10～1 10-11 Torr （即13.33～1.333nPa）之間。而且不像低溫泵或離子泵那樣，渦輪分子泵在超高真空條件下能滿抽速運轉(zhuǎn)。這些性能再加上它有良好的清潔性（測不到碳氫化合物），顯然用戶會選擇渦輪分子泵用于高分辨率質(zhì)譜儀，分子束外延設備及超高真空分析儀器等設備上的。