渦輪分子泵和分子增壓泵的相同點與不同點 1. 共同點： 渦輪分子泵和分子增壓泵都是高真空泵，極限真空10-5Pa（10-7Pa）；都工作在很高的轉(zhuǎn)速（數(shù)萬轉(zhuǎn)/分鐘）；都有很高的壓縮比（N2：108），所以都可以獲得清潔真空。2. 不同點 目前國內(nèi)生產(chǎn)的以及絕大部分國外生產(chǎn)的渦輪分子泵都是立式泵，而分子增壓泵是臥式泵，臥式泵對共振的控制比立式泵難度大；分子增壓泵的工作壓力和排氣流量均比渦輪分子泵高出很多，可以達到數(shù)百帕；渦輪分子泵的轉(zhuǎn)子是由渦輪葉片構(gòu)成，而分子增壓泵的轉(zhuǎn)子是由平圓盤構(gòu)成；渦輪分子泵工作在分子流狀態(tài)，而分子增壓泵可以工作在分子流和過渡流狀態(tài)。 

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一臺密封和除氣良好的渦輪分子泵，配以性能良好的雙級旋片泵（或同樣性能的干式前級泵），其極限真空一般可達到10- 9～10-10Torr（即133.3～13.33 nPa）之間。若一臺渦輪分子泵再串一臺渦輪分子泵，用金屬密封并除氣良好的泵，一般其極限壓力在110- 10～1 10-11 Torr （即13.33～1.333nPa）之間。而且不像低溫泵或離子泵那樣，渦輪分子泵在超高真空條件下能滿抽速運轉(zhuǎn)。這些性能再加上它有良好的清潔性（測不到碳氫化合物），顯然用戶會選擇渦輪分子泵用于高分辨率質(zhì)譜儀，分子束外延設(shè)備及超高真空分析儀器等設(shè)備上的。