| 品牌 | 北 | 電鍍電源 | 雙脈沖電源 |
| 電鍍位置 | 多弧離子鍍 | 鍍種 | 工具鍍裝飾鍍 |
多弧離子鍍膜機主要由鍍膜腔室、6或9套多弧靶、多弧電源,擴散泵系統(tǒng)、旋轉(zhuǎn)基片臺、管狀加熱器、氣路系統(tǒng)、水路系統(tǒng)、控制系統(tǒng)等組成。該設(shè)備具備6或9靶共濺射功能,可制備導電膜、半導體膜等單層或多層膜??刂葡到y(tǒng)采用手/自動控制。薄膜附著力強,繞射性好,膜材廣泛,沉積薄膜效率高,適用于工具鍍、裝飾鍍等。
技術(shù)參數(shù)
設(shè)備名稱:tgp-600多弧離子鍍膜機/tgp-800多弧離子鍍膜機
真空室尺寸:φ600mm×h600mm/φ800mm×h900mm
可鍍空間:φ300mm×h300mm/φ500mm×h600mm
基片臺:0-20rpm、磁流體軸密封、公自轉(zhuǎn)基片臺
多弧靶:6或9只多弧靶
電源:多弧電源、偏壓電源
工件烘烤溫度:室溫至500℃可控可調(diào)
真空室結(jié)構(gòu):立式前開門結(jié)構(gòu),后置抽氣系統(tǒng),雙層水冷腔室
真空系統(tǒng):擴散泵+機械泵+維持泵,從大氣至10-3pa恢復真空時間≤20min
極限真空:5.0×10-4pa
控制系統(tǒng):自動抽真空
報警及保護:對泵、靶等缺水、過流過壓、斷路等異常情況進行報警并執(zhí)行相應(yīng)保護措施
選購件:冷卻循環(huán)水機
真空設(shè)備 ; 鍍膜設(shè)備 ; 鍍膜材料 ; 磁控濺射鍍膜 ; 電子束蒸發(fā)鍍膜 ; 電阻加熱蒸發(fā)鍍膜 ; 真空電源
生產(chǎn)組裝磁控濺射鍍膜設(shè)備、電阻加熱蒸發(fā)鍍膜機、化學氣象沉積鍍膜機、多功能鍍膜機、真空冶煉爐、DEQ-400氣體放電等離子體測試裝置;磁控濺射鍍膜設(shè)備、電阻加熱蒸發(fā)鍍膜機、化學氣象沉積鍍膜機、多功能鍍膜機、真空冶煉爐、DEQ-400氣體放電等離子體測試裝置的技術(shù)開發(fā);銷售機械設(shè)備、儀器儀表、電子產(chǎn)品;...
北京泰科諾科技(集團)公司成立于1997年,是一家專業(yè)從事真空設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售的專業(yè)化公司。公司位于北京市海淀區(qū)西三旗,烏魯木齊設(shè)有分公司。公司主要技術(shù)骨干來源于中科院各單位,充分發(fā)揮中科院的人才優(yōu)勢、技術(shù)優(yōu)勢、信息優(yōu)勢,為中國真空設(shè)備的崛起而發(fā)揮應(yīng)有的作用。共有六大類產(chǎn)品,從低真空-高真空-超高真空十多個系列六十多個品種。主要產(chǎn)品處于國...