PECVD-350雙室等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)-精品午夜國(guó)產(chǎn)福利觀看-軍妓慰安婦快播メイリン モデルコレクション メ
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- 品牌
- 北京泰科諾
- 型號(hào)
- PECVD-350
| 品牌 | 北京泰科諾 | 型號(hào) | PECVD-350 |
| 適用范圍 | 制作氧化鋅納米線(xiàn)、太陽(yáng)能薄膜電池、SiO2鈍化膜、Si3N4、非晶Si:H、多晶Si、SiC、W、Ti-Si、GaAs、GaSb等介電、半導(dǎo)體及金屬膜 | 產(chǎn)品別名 | PECVD-350雙室等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)-精品午夜國(guó)產(chǎn)福利觀看-軍妓慰安婦快播メイリン モデルコレクション メ |
| 電鍍電源 | 直流電源 | 電鍍位置 | 等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè) |
| 鍍種 | 真空鍍膜 |
pecvd-350型超高真空雙室多功能等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備主要由全真空專(zhuān)用不銹鋼腔體、樣品傳遞機(jī)構(gòu)、真空系統(tǒng)、生長(zhǎng)機(jī)體載體及溫控系統(tǒng)、獨(dú)立排氣和生長(zhǎng)壓力調(diào)節(jié)系統(tǒng)、尾氣處理、冷卻循環(huán)水輔助設(shè)備等組成。應(yīng)用于制作氧化鋅納米線(xiàn)、太陽(yáng)能薄膜電池、sio2鈍化膜、si3n4、非晶si:h、多晶si、sic、w、ti-si、gaas、gasb等介電、半導(dǎo)體及金屬膜等。
技術(shù)參數(shù):
主、次沉積室:φ350mm×h400mm,雙室立式前開(kāi)門(mén)結(jié)構(gòu),旁抽氣系統(tǒng),雙層水冷
基片臺(tái)尺寸:φ125mm
基片臺(tái)運(yùn)動(dòng):轉(zhuǎn)速0-20rpm、磁流體密封
基片加熱:室溫至600℃、900℃可調(diào)可控
有機(jī)源、固體源:室溫至250℃、500℃可調(diào)可控
電源:射頻電源
真空系統(tǒng):分子泵高真空系統(tǒng)(共用),從大氣抽到10-3pa小于或等于20分鐘
極限真空:8.0×10-5pa
控制系統(tǒng):自動(dòng)抽真空
報(bào)警及保護(hù):對(duì)缺水、過(guò)流過(guò)壓、斷路等異常情況進(jìn)行報(bào)警及相應(yīng)保護(hù)措施
選購(gòu)件:冷卻循環(huán)水機(jī)
真空設(shè)備 ; 鍍膜設(shè)備 ; 鍍膜材料 ; 磁控濺射鍍膜 ; 電子束蒸發(fā)鍍膜 ; 電阻加熱蒸發(fā)鍍膜 ; 真空電源
生產(chǎn)組裝磁控濺射鍍膜設(shè)備、電阻加熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)、化學(xué)氣象沉積鍍膜機(jī)、多功能鍍膜機(jī)、真空冶煉爐、DEQ-400氣體放電等離子體測(cè)試裝置;磁控濺射鍍膜設(shè)備、電阻加熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)、化學(xué)氣象沉積鍍膜機(jī)、多功能鍍膜機(jī)、真空冶煉爐、DEQ-400氣體放電等離子體測(cè)試裝置的技術(shù)開(kāi)發(fā);銷(xiāo)售機(jī)械設(shè)備、儀器儀表、電子產(chǎn)品;...
北京泰科諾科技(集團(tuán))公司成立于1997年,是一家專(zhuān)業(yè)從事真空設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售的專(zhuān)業(yè)化公司。公司位于北京市海淀區(qū)西三旗,烏魯木齊設(shè)有分公司。公司主要技術(shù)骨干來(lái)源于中科院各單位,充分發(fā)揮中科院的人才優(yōu)勢(shì)、技術(shù)優(yōu)勢(shì)、信息優(yōu)勢(shì),為中國(guó)真空設(shè)備的崛起而發(fā)揮應(yīng)有的作用。共有六大類(lèi)產(chǎn)品,從低真空-高真空-超高真空十多個(gè)系列六十多個(gè)品種。主要產(chǎn)品處于國(guó)...