| 品牌 | 北京泰科諾 | 型號 | HF-650 |
| 適用范圍 | 工業(yè)化生產(chǎn)、科研、教學 | 產(chǎn)品別名 | HFCVD-650熱絲化學氣相沉積金剛石設備 |
| 電鍍電源 | 雙脈沖電源 | 電鍍位置 | 熱絲化學氣相沉積 |
| 鍍種 | 真空鍍膜 |
該系列設備應用熱絲化學氣相沉積技術(shù)，主要用來制作金剛石厚膜、類金剛石膜、氮化硅和氧化硅膜等。適合于工業(yè)化生產(chǎn)。該系列設備已應用于國內(nèi)多家用熱絲法生產(chǎn)金剛石的生產(chǎn)線上。該設備業(yè)已生產(chǎn)出大尺寸片狀多晶金剛石厚膜，填補了國內(nèi)空白，并獲得了非?？捎^的經(jīng)濟效益。同時該系列設備也非常適合于科研、教學和產(chǎn)品中試之用。
技術(shù)參數(shù)：
沉積室尺寸：φ650mm×h600mm
基片臺尺寸：φ200mm×h44mm
基片臺高度：150?200mm
基片臺轉(zhuǎn)速：0-20rpm（可調(diào)）
電極尺寸：φ24mm×200mm
電極電流：> 300a
制膜種類：金剛石厚膜、類金剛石膜、氮化硅和氧化硅膜等
電源型式：熱絲電源
真空室結(jié)構(gòu)：立式前開門結(jié)構(gòu)，后置抽氣系統(tǒng)，雙層水冷
極限真空：1.3×10-3pa
真空系統(tǒng)組成：擴散泵+機械泵+維持泵
真空測量方式：兩低一高數(shù)顯復合真空計、薄膜壓強儀
真空控制方式：手動按鈕控制，可選配plc手自動控制或計算機控制
工藝氣體控制方式：3路工藝氣體流量控制及顯示系統(tǒng)
報警及保護：對泵、電極等缺水、過流過壓、斷路等異常情況進行報警并執(zhí)行相應保護措施
選購件：冷卻循環(huán)水機
真空設備 ; 鍍膜設備 ; 鍍膜材料 ; 磁控濺射鍍膜 ; 電子束蒸發(fā)鍍膜 ; 電阻加熱蒸發(fā)鍍膜 ; 真空電源
生產(chǎn)組裝磁控濺射鍍膜設備、電阻加熱蒸發(fā)鍍膜機、化學氣象沉積鍍膜機、多功能鍍膜機、真空冶煉爐、DEQ-400氣體放電等離子體測試裝置；磁控濺射鍍膜設備、電阻加熱蒸發(fā)鍍膜機、化學氣象沉積鍍膜機、多功能鍍膜機、真空冶煉爐、DEQ-400氣體放電等離子體測試裝置的技術(shù)開發(fā)；銷售機械設備、儀器儀表、電子產(chǎn)品；...
北京泰科諾科技(集團）公司成立于1997年，是一家專業(yè)從事真空設備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售的專業(yè)化公司。公司位于北京市海淀區(qū)西三旗，烏魯木齊設有分公司。公司主要技術(shù)骨干來源于中科院各單位，充分發(fā)揮中科院的人才優(yōu)勢、技術(shù)優(yōu)勢、信息優(yōu)勢，為中國真空設備的崛起而發(fā)揮應有的作用。共有六大類產(chǎn)品，從低真空－高真空－超高真空十多個系列六十多個品種。主要產(chǎn)品處于國...