壓力傳感器被廣泛應(yīng)用于各種工業(yè)自控環(huán)境,涉及水利水電、鐵路交通、生產(chǎn)自控、航空航天、軍i工、石化、油井、電力、船舶、機床、管道等眾多行業(yè)。力學(xué)傳感器的種類繁多,如電阻應(yīng)變片壓力傳感器、半導(dǎo)體應(yīng)變片壓力傳感器、壓阻式壓力傳感器、電感式壓力傳感器、電容式壓力傳感器、諧振式壓力傳感器及電容式加速度傳感器等。但應(yīng)用Zui為廣泛的是壓阻式壓力傳感器,它具有極低的價格和較高的精度以及較好的線性特性,下面我們主要介紹這類傳感器。
封裝材料
一般來說,MEMS器件對封裝材料有如下要求:封裝材料的電導(dǎo)性要低,倒裝封裝技術(shù),以降低電信號傳送的干擾;傳熱性要好,浙江封裝,對某些應(yīng)用是需要散熱,而另一些應(yīng)用,諸如熱傳感器,則要求其與外界的溫度保持一致;密封性能要好,對一些微機械結(jié)構(gòu)而言,空氣中的某些氣體成分對其有腐蝕作用,而且雜質(zhì)也會影響微機械系統(tǒng)的正常工作,因此要求封裝材料具有良好的密封性能,才能保證器件的高可靠性。目前,用于MEMS封裝的材料主要有陶瓷、金屬和塑料等幾種網(wǎng)。
在MEMS生產(chǎn)制造過程中,晶圓制造占成本比例低,反倒是封測成本高,約占50%,主要在晶圓端MEMS只需采用0.35~0.5μm等成熟制程,不需進入更高階制程,F(xiàn)bar封裝,不過封裝端的精密度卻遠(yuǎn)高于半導(dǎo)體封裝,測試時間也較長,因此成本較高。
半導(dǎo)體封裝,傳感器封裝,MEMS傳感器,智能傳感器
從事納米科技、半導(dǎo)體科技、電子科技領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)開發(fā)、技術(shù)服務(wù)、技術(shù)轉(zhuǎn)讓;生產(chǎn)、銷售:半導(dǎo)體材料、納米材料、電子產(chǎn)品、半導(dǎo)體集成電路產(chǎn)品、金屬材料、五金交電;銷售:化工產(chǎn)品;維修、銷售:通訊器材、儀器儀表、環(huán)保設(shè)備、電子設(shè)備、半導(dǎo)體設(shè)備;從事上述產(chǎn)品和技術(shù)的進出口業(yè)務(wù)。(依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動)
蘇州捷研芯坐落于蘇州工業(yè)園區(qū),注冊資金1258.4萬元,由半導(dǎo)體封測公司的專家和中科院菁英人才創(chuàng)辦,擁有獨立知識產(chǎn)權(quán)的封裝、測試、模塊化技術(shù)及數(shù)據(jù)處理算法。致力于為Fabless設(shè)計公司、終端方案商以及工業(yè)、汽車、消費電子產(chǎn)業(yè)的制造商提供MEMS傳感器和系統(tǒng)集成模塊從設(shè)計到量產(chǎn)的封裝與系統(tǒng)集成解決方案(OEM+ODM);提供智能傳感器產(chǎn)品與行業(yè)應(yīng)用方案(子公司捷杰傳感)。公司為國家高新技術(shù)企業(yè)、江蘇省科技型民營企業(yè),“金雞湖雙百人才”科...