鉭源前驅(qū)體五氯化鉭 TaC 涂層前驅(qū)體 CAS 7721-01-9-國產(chǎn)精品一二三四免費看-97色倫圖片97色倫圖影院久久メイリン モデルコレクション メ
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- 外觀
- 白色至微黃色結(jié)晶性粉末
- 沸點
- 233–242 ℃
- 分子式
- TaCl?
五氯化鉭(TaCl?,CAS 7721-01-9)分子式 Cl?Ta、分子量358.21,是鉭的 + 5價氯化物,由鉭金屬與高溫氯化或五氧化二鉭與氯化劑反應(yīng)制得,為鉭化學(xué)的基礎(chǔ)原料。物理性質(zhì)上為白色至淡黃色單斜結(jié)晶粉末,熔點216~221℃、沸點 242℃(可升華)、密度 3.68 g/mL(25℃)、高溫蒸氣壓顯著。溶解性方面遇水猛烈水解,釋放并生成TaOCl?、Zui終成五氧化二鉭,溶于、、和氫氧化鉀,微溶于醇?;瘜W(xué)性質(zhì)上為強親電 Lewis 酸,類似 Friedel-Crafts催化劑,吸濕性強、接觸潮氣即分解,禁配強堿、潮濕空氣,遇潮腐蝕金屬。儲存須無水無氧密封(惰性氣氛)、干燥防潮,遠離強堿和可燃物。
基本信息
中文名:五氯化鉭(氯化鉭 (V))
英文名:Tantalum (V) chloride;Tantalumpentachloride
別名:氯化鉭、五氯化鉭 (V)
分子式:TaCl?
分子量:358.21
CAS:7721-01-9
EINECS:231-755-6;RTECS:WW5600000
物理化學(xué)性質(zhì)
外觀:白色至微黃色結(jié)晶性粉末 / 固體,強吸濕性
密度:3.68g/cm3(25 ℃);堆積密度約 2.4 g/cm3
熔點:約 216–221 ℃(口徑 210–221 ℃不一);沸點:約 233–242 ℃(常壓);可在干燥或 CO?中升華
蒸氣壓:69.9hPa @169.3 ℃;閃點:不適用(無機物)
溶解性:溶于、、氯仿、及堿液(KOH 溶液);微溶于醇 / 無水醇;遇水劇烈水解
主要用途(分領(lǐng)域)
應(yīng)用領(lǐng)域 | 作用 | 典型場景 |
半導(dǎo)體 / 微電子(核心高端用途) | CVD/ALD 鉭源前驅(qū)體 | TaN 阻擋層(先進制程芯片銅互連抗擴散)、金屬鉭導(dǎo)電層、Ta?O?高介電薄膜 |
第三代半導(dǎo)體 SiC | TaC 涂層前驅(qū)體 | 碳化硅長晶石墨坩堝等熱場部件碳化鉭涂層(六英寸成熟、八英寸剛需) |
鉭金屬 / 鉭粉制備 | 還原制鉭中間體 | 氫還原制金屬鉭、高 CV 鉭粉、鉭電容器、碳化鉭中間體 |
光學(xué) / 功能薄膜 | 鍍膜材料前驅(qū)體 | 高折射率 Ta?O?光學(xué)鍍膜、氧化鉭涂層、鐵電薄膜 |
有機合成 / 催化 | Lewis 酸催化劑 | Friedel-Crafts 反應(yīng)、氯化反應(yīng)、聚合催化 |
其他工業(yè) | 功能材料原料 | 超級電容器、電解應(yīng)用等 |
與相關(guān)產(chǎn)品對比(防混淆關(guān)鍵)
與五氯化鈮(NbCl?,CAS10026-12-7)對比:鉭鈮同族、物性相近——高純電子級 TaCl?的關(guān)鍵指標即控制 Nb雜質(zhì)含量,鉭鈮分離是純度核心。
與四氯化鈦(TiCl?,CAS7550-45-0)對比:同為金屬氯化物前驅(qū)體,TiCl?用于 TiN/TiO?體系;TaCl? 用于 TaN/Ta?O?——沉積工藝與目標薄膜不同。
與五氟化鉭(TaF?)對比:氟化物前驅(qū)體用于不同沉積路線,TaCl?為氯化物主流。
安全信息(毒性與儲存)
危險分類:8 類腐蝕性固體(酸性、無機)——中國《危險化學(xué)品目錄》列入,信號詞:危險(Danger)
GHS 分類(GESTIS/ Thermo / 中文SDS 口徑):皮膚腐蝕 1B(H314 嚴重皮膚灼傷和眼損傷);嚴重眼損傷(H318);急性毒性 - 經(jīng)口 4(H302 吞食有害);呼吸道刺激(H335);對金屬可能具腐蝕性(H290)
健康危害:遇水 / 濕氣即釋放 HCl——嚴重腐蝕皮膚、眼睛與呼吸道;吞食有害;粉塵吸入刺激;水解反應(yīng)放熱
防護:防化手套(丁基 / 氯丁橡膠)、護目鏡 + 面屏、防酸防護服;防潮操作(惰性氣氛手套箱 / 干燥環(huán)境);作業(yè)場所強制通風(fēng)
泄漏 / 接觸:?嚴禁直接用水沖洗泄漏物(劇烈水解放熱并生成 HCl 煙氣)——用干燥砂土或惰性吸附劑圍堵收集、防潮密閉處置;眼 —— 清水沖洗 ≥15 min 立即就醫(yī);皮膚 —— 脫污染衣物、大量沖洗就醫(yī);吸入 ——移至新鮮空氣、給氧就醫(yī)
儲存運輸:嚴格密封防潮(氮氣封存 / 干燥器)、陰涼干燥;遠離水、濕氣、醇類、堿類與還原劑;運輸按 UN 3260
醫(yī)藥中間體,農(nóng)藥中間體,OLED中間體,精細化工原料
廊坊昭秦能源科有限公司,是一家以從事化學(xué)原料和化學(xué)制品制造業(yè)為主的企業(yè)。總投資8000余萬元。主要從事醫(yī)藥、醫(yī)藥中間體、精細化工、OLED中間體等新型化學(xué)材料的研發(fā),生產(chǎn)和銷售。長期以來公司以開發(fā)醫(yī)藥中間體,新型光電顯示產(chǎn)品為主導(dǎo)方向,不斷進行技術(shù)改造和產(chǎn)品創(chuàng)新以滿足由科技發(fā)展帶來的市場需求。 公司擁有領(lǐng)先的技術(shù)優(yōu)勢:催化加氫反應(yīng)(Catalytic Hydrogenation Reaction),鹵代反應(yīng)(Halogenati...