雜質(zhì)是高純二氧化碳質(zhì)量管控的核心，不同應(yīng)用場(chǎng)景，重點(diǎn)管控的雜質(zhì)種類存在明顯區(qū)別。水分是通用管控指標(biāo)，水分超標(biāo)會(huì)腐蝕管路，在激光腔體產(chǎn)生副產(chǎn)物，半導(dǎo)體工藝中引發(fā)氧化缺陷。一氧化碳屬于還原性雜質(zhì)，在激光設(shè)備中會(huì)破壞激光介質(zhì)，在半導(dǎo)體高溫工藝中影響薄膜質(zhì)量?？偺?xì)浠衔?、硫化物屬于有機(jī)雜質(zhì)，食品場(chǎng)景下存在食品安全風(fēng)險(xiǎn)，分析實(shí)驗(yàn)室會(huì)造成色譜基線漂移。金屬雜質(zhì)如鐵、鈉、鉀等，主要危害半導(dǎo)體晶圓，微量金屬附著硅片會(huì)造成器件漏電失效。固體顆粒物會(huì)堵塞精密過(guò)濾器，污染晶圓與光學(xué)器件。高純氣體出廠會(huì)采用氣相色譜、痕量水分析儀、ICP-MS等精密設(shè)備，對(duì)各類痕量雜質(zhì)逐項(xiàng)檢測(cè)驗(yàn)證。

江蘇科海檢驗(yàn)有限公司

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取樣方式：采樣員上門取樣/自行取樣

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