PA-LAMI-01系列低噪聲加速度傳感器由西安精準測控有限責任公司自行研制,用于測量加速度的傳感器。它采用高精度 MEMS 芯片,具有 BIMOS信號限制電路,與此同時設計考慮多用戶的需求,制造采用表貼工藝技術,具有高可靠性和高封裝堅固性,并具有溫度傳感器輸出、自檢測(Self-Test)等功能,可實現(xiàn)溫補和自檢測。
1.2. 產品應用
本產品可用于汽車測控、慣性導航、飛行器安全系統(tǒng)、地震監(jiān)控、傾斜、速度和位置的慣性、振動和沖擊試驗臺加速度的測量等系統(tǒng)中。
1.3. 工作原理
PA-LAMI系列低噪聲加速度傳感器是建造在硅晶片頂部的表面 MEMS多硅結構,其中多晶硅簧片懸浮在晶片表面的結構,并提供一個克服加速度感應力的阻力。用包含兩個獨立的固定板和一個與運動質塊相連的中央板形成的差動電容器機構來測量比例于加速度的多硅結構的偏轉,從而產生電壓輸出信號。
1.4. 技術條件
| 測量范圍(g) | ±100 |
| 頻響(Hz) | 100 |
| 零 g偏置電壓(V) | 2.5±0.02 ① |
| 靈敏度②(mV/g) | 20±1 |
| 滿量程輸出(V)③ | 0.5~4.5V |
輸出噪聲(差分 RMS,V/) ? HZ | 20 |
| 交叉軸影響(%) | <1 |
| 偏置溫漂 (mg)/°C | <5 ( -55 to +125°C全溫范圍內) |
| 刻度因數(shù)溫漂( ppm/°C) | <100(-55 to+125°C全溫范圍內) |
| 非線性度(% F.S) | 0.5 |
供電要求
工作環(huán)境
| 使用溫度(°C) | -55 to+125°C |
| 耐加速度 0.1ms | 2000g |
重量、體積
| 重量(g) | <30 |
| 體積(mm3 ) | 28×28×15.5 |
1.5. 電氣接口
| 引線色別 | 紅 | 黑 | 蘭 | 屏蔽套 |
| 信號 | +12V | 地 | AXout | 殼體地 |