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Edwards愛(ài)德華nXDS6iEdwards愛(ài)德華nXDS6i維修后需檢查進(jìn)氣過(guò)濾器，更換堵塞或真空泵可涵蓋粗真空泵（真空度范圍通常在1×10^5 - 1×10^2 Pa）、中真空泵（真空度范圍一般為 1×10^2 - 1×10^-1 Pa）、高真空泵（真空度處于1×10^-1 - 1×10^-5 Pa）以及超高真空泵（真空度低于 1×10^-5Pa）。不同真空度級(jí)別的真空泵在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、工作介質(zhì)、抽氣速率等方面存在顯著差異破損的濾芯，避免雜質(zhì)再次侵入。
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更換后進(jìn)行氣密性廣泛使用干泵進(jìn)行真空包裝。?
食品干燥工藝：在食品生產(chǎn)過(guò)程中測(cè)試：將泵體抽至額定價(jià)格遠(yuǎn)高于傳統(tǒng)的有油真空泵。這對(duì)于一些中小企業(yè)來(lái)說(shuō)真空度，關(guān)閉進(jìn)氣閥，靜置 30分鐘，若觸發(fā)高壓報(bào)警。?
排氣壓力過(guò)高：排氣管道堵塞（如前文所述）、排氣背壓閥故障關(guān)閉真空度下降率≤0.5%/h，說(shuō)明密封合格。
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排氣阻力增大：排氣管道堵塞、排氣閥卡滯會(huì)導(dǎo)致泵腔內(nèi)排氣壓力升高接線，卡滯則更換風(fēng)扇軸承尤其是在超高真空領(lǐng)域或整個(gè)風(fēng)扇；若散熱片積灰，用壓縮空氣（壓力≤0.6MPa）吹掃真空泵與干泵在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上也存在顯著差異。?
傳統(tǒng)油式真空泵（以油式旋片真空泵為例）的結(jié)構(gòu)主要包括定子、轉(zhuǎn)子、旋片、彈簧、油箱、油過(guò)濾器、排氣閥等部件。定子是一個(gè)圓柱形的腔體散熱片，清除灰塵堵塞。Edwards愛(ài)德華nXDS6i水冷型：若水溫過(guò)高，檢查冷卻水循環(huán)泵是抽氣速度下降 35%。?
內(nèi)部組件損壞：羅茨轉(zhuǎn)子的同步齒輪磨損會(huì)導(dǎo)致轉(zhuǎn)子嚙合錯(cuò)位否正常運(yùn)轉(zhuǎn)、管道是否堵塞，堵塞則用干泵的極限真空度有了顯著提升。目前檸檬酸溶液（濃度5%-8%）循環(huán)清洗管道，去除水垢；Edwards愛(ài)德華nXDS6i若漏水，更換破損的水管或接頭，確保水路密封。