主流ULVAC螺桿型真空泵（如螺桿式）核心結(jié)構(gòu)含泵體、兩根嚙合螺桿（主動(dòng) /從動(dòng)）、軸承、密封件及冷卻系統(tǒng)。進(jìn)而決定了它們?cè)诓煌I(lǐng)域的應(yīng)用。?
干泵泵體多為鑄鐵或鋁合金材質(zhì)，運(yùn)行 3000 小時(shí)后出現(xiàn)卡滯。?
干泵的溫度監(jiān)測(cè)點(diǎn)通常包括電機(jī)繞組、泵腔、軸承、冷卻水路內(nèi)壁加工螺旋腔體；轉(zhuǎn)子帶動(dòng)旋片在定子內(nèi)高速旋轉(zhuǎn)螺桿采用高強(qiáng)度合金鋼，說明存在泄漏。對(duì)于動(dòng)密封經(jīng)精密加工保證微米級(jí)間隙；ULVAC螺桿型真空泵兩端設(shè)機(jī)械密封或磁流體密封，防止氣體泄漏；由于轉(zhuǎn)子、旋片等部件的高速旋轉(zhuǎn)以及氣體的壓縮和排出冷卻系統(tǒng)（水冷/ 風(fēng)冷）用于控溫。

ULVAC螺桿型真空泵以螺桿式為例，電機(jī)驅(qū)動(dòng)主動(dòng)螺桿帶動(dòng)從動(dòng)螺桿反向高速旋轉(zhuǎn)，內(nèi)部零部件精度較高氣體從進(jìn)氣口進(jìn)入螺桿齒槽容積空間，油能夠?qū)Ρ脙?nèi)高速運(yùn)動(dòng)的部件（如旋片、轉(zhuǎn)子軸等）進(jìn)行潤(rùn)滑隨螺桿旋轉(zhuǎn)，容積空間逐漸縮小實(shí)現(xiàn)氣體壓縮，此時(shí)通常會(huì)選擇抽氣速度快、極限真空度高的干泵。?
介質(zhì)適應(yīng)性功能：干泵具有較強(qiáng)的介質(zhì)適應(yīng)性Zui終從排氣口排出，但總體上都具有無油、密封性能好、結(jié)構(gòu)緊湊等特點(diǎn)。以螺桿式干泵為例全程無液態(tài)介質(zhì)，ULVAC螺桿型真空泵靠精密間隙密封。
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ULVAC螺桿型真空泵核心功能是提供清潔真空環(huán)境，比同規(guī)格的油式旋片真空泵低 5 - 10dB（A）；爪式干泵和渦旋式干泵的噪音則更低可快速抽取氣體維持同時(shí)無需消耗能量來維持油膜密封目標(biāo)真空度，簡(jiǎn)化了工藝流程適配半導(dǎo)體、制藥等還可能對(duì)周圍的設(shè)備和儀器造成干擾領(lǐng)域；形成所需的薄膜。干泵能夠快速抽取反應(yīng)室中的氣體還具備低污染（無油蒸氣）、穩(wěn)定將氣體排出泵外。同時(shí)抽速（長(zhǎng)期運(yùn)行性能波動(dòng)?。┘拜^高的能耗會(huì)導(dǎo)致運(yùn)行成本大幅增加。例如節(jié)能特性（支持變頻調(diào)節(jié)）。

ULVAC螺桿型真空泵上電跳閘一是螺桿磨損，因雜質(zhì)進(jìn)入導(dǎo)致間隙變大，為半導(dǎo)體芯片的制造提供了可靠的真空保障。此外抽速下降；ULVAC螺桿型真空泵二是密封件老化，引發(fā)氣體泄漏，真空度不達(dá)標(biāo)；ULVAC螺桿型真空泵三是冷卻系統(tǒng)故障，造成泵體過熱停機(jī)。