睿米?  RMI-PSOZV?常用RGA校準漏孔

組份：Xe, Kr, Ar, N2, He各20%

  睿米?推出適用RGA（Residual GasAnalysis，殘余氣體分析儀）四極質(zhì)譜，進行校準的標準漏孔。可以根據(jù)用戶的需要，做到高度的定制。包括定制漏率（如果是單一氣體，該氣體的漏率；如果是混合氣體，定制某一氣體的分漏率或混合氣總漏率）、氣體種類、比例、同位素、豐度等。

單一氣體定制： 可以選擇任何需要監(jiān)控或校準的特定氣體，例如 H?,O?, CO?, CH?, SF?, Kr, Xe 等

混合氣體的定制：

1、氣體種類： jingque模擬實際工藝腔室或真空系統(tǒng)中的殘余氣體成分。

2、氣體比例： 設定各組分氣體的jingque濃度（例如：Xe,Kr, Ar, N2, He各占20%）。

3、同位素種類與豐度： 這對于使用同位素示蹤的研究、特定同位素敏感的應用或需要校準RGA同位素分辨能力的場景至關重要。例如，定制特定比例，Xe-132(94%atom),Kr-84（56%atom）, Ar， N2， He各占20%等

典型技術指標 (Performance Index)

1

訂貨號

RM5XM-61455V0/6/T

2

氣體組份

  He, N2, Ar, Kr, Xe各20%

3

漏率

5.0 x 10-6pa.m3/sec 入真空

4

氣室/充氣壓力

150cc，20bar

5

閥門

RMI-PSOZV?零體積常閉氣動閥，

氣動執(zhí)行：5-8bar（M5內(nèi)絲，轉6*4快擰，接6mm氣管）

呆體積：0.098μL，閥門開/閉系統(tǒng)0沖擊，氣體0損失

內(nèi)漏：<5x10-10atm.cc/sec

外漏：<5x10-11atm.cc/sec

6

制作工藝

通道毛細管|RMI-Metal?金屬密封工藝

溫度系數(shù)：0.1%/℃|工作溫度：-20℃ ~ +65℃| 抗震抗摔

7

出口連接

VCR ? Male（彎頭轉接）

8

衰減

自然衰減：<0.1%/年

使用衰減：<3.0%/年（60次x30min）

9

規(guī)格尺寸

435mm（長）x 120mm（Zui寬）

10

證書

出廠檢測證書，或第三方檢測證書

應用場景

1、半導體制造： jingque監(jiān)控和校準RGA對工藝氣體殘留（如蝕刻、沉積、離子注入后的副產(chǎn)物）、腔體泄漏（特定氣體）的檢測能力。定制混合氣可模擬真實腔體環(huán)境。

2、真空鍍膜： 校準RGA對背景氣體（水汽、氧氣、氮氣、碳氫化合物）的靈敏度，確保鍍膜質(zhì)量。

3、高能物理/加速器： 需要監(jiān)控超純真空或特定氣體環(huán)境。同位素定制對某些實驗尤為重要。

4、聚變研究： 對氫同位素（H?, D?,T?）及其比例的jingque監(jiān)測和校準需求極高。

5、航天器測試： 模擬太空環(huán)境或檢測泄漏（如定制肼類氣體或氙氣）。

6、基礎研究： 任何需要jingque知道殘余氣體成分和比例，并對RGA測量精度有高要求的實驗室。

7、泄漏檢測（配合示蹤氣）： 雖然RGA本身常用于檢漏，但定制特定示蹤氣體的標準漏孔可用于校準整個檢漏系統(tǒng)（RGA+真空系統(tǒng)）對該種氣體的響應。

標準漏孔閥門開關的Zui大氣體損失=呆體積x 壓力

傳統(tǒng)標準漏孔：閥門呆體積普遍為 0.1~1 cc。以 0.1 cc 為例，當充氣壓力為10 MPa（100atm）時，每次損失氣體0.1x100=10cc。

零體積閥方案：同等條件下，RMI-MZV?/PSOZV?標準漏孔的呆體積空間僅為Φ0.5mmx0.5mm，=0.098μL（1μL=0.001cc），每次損失氣體0.1x0.001x100=0.01cc，即使開關100次損失也只有1cc，可以忽略不計。

使用者都知道，標準漏孔校準檢漏儀或者系統(tǒng)的時間，通常很短，一般為幾分鐘。睿米公司自研RMI-MZV?/PSOZV?零體積手動閥/零體積常閉氣動閥，解決了大漏率漏孔的衰減快的問題。使用時，打開閥門；不使用時，關閉閥門。

例如：有源He標準漏孔，漏率：5.28x10-4pa.m3/sec

PSOZV?零體積常閉氣動閥標準漏孔:氣室1000cc,充氣壓力：100bar，自然衰減<0.1%/年(730次/年)，漏率衰減/年<3.0%(365x2次x5分鐘）

傳統(tǒng)標準漏孔:氣室1000cc,充氣壓力：100bar，自然衰減<7.3%/年（730次/年），漏率衰減/年＞16%(365x2次x5分鐘）

 睿米公司的標準漏孔，采用自研RMI-MTC?微通道毛細管技術，配合自研RMI-Cal?氣體物質(zhì)屬性、流導模擬/仿真算法，可以做到根據(jù)用戶的要求進行jingque定制：

  ?指定漏率，指定壓力。

  ?提供全氣體選擇：包括但不限于He，H2,Air，Ar，N2，CH4，R-134a，600a，SF6等單一氣體或混合氣體，十二烷C12H26、DMC碳酸二甲酯C3H6O3等液體。

  ?并且提供眾多的接頭，供用戶選擇。

  ?自研RMI-MZV?零體積手動閥，自研RMI-PSOZV?零體積主動關閉閥。

睿米 ? 標準漏孔：全球行業(yè)lingdaozhe，開啟漏孔技術新紀元

RealMeter? Calibrated Leak Standard: The global industry leader,inaugurating a new era of leak technology.

上海睿米儀器儀表有限公司，專注于標準漏孔的研發(fā)與生產(chǎn)。公司憑借多年的技術沉淀，成功攻克微通道毛細管技術難題，自主研發(fā)出一系列l(wèi)ingxian行業(yè)的產(chǎn)品。我們致力于為新能源、汽車、制冷、電子、電力、半導體、航天航空、核工業(yè)、醫(yī)療、食品包裝等眾多領域提供高精度、高性能的標準漏孔產(chǎn)品，助力各行業(yè)實現(xiàn)更高效、更精準的檢測與控制。

在標準漏孔領域，睿米 ? 憑借zhuoyue性能、創(chuàng)新工藝和廣泛應用，成為全球行業(yè)lingdaozhe。我們的標準漏孔產(chǎn)品性能指標全面超越國內(nèi)外同類產(chǎn)品，使用壽命更長，服務眾多zhiming企業(yè)和科研機構，如H 公司、B 公司、C 公司、A 公司、T 公司、中國工程物理研究院、上海光源等。

In the field of calibrated leak standards, RealMeter? has becomethe global industry leader by virtue of its excellent performance,innovative technology and wide applications. The performanceindicators of our calibrated leak standard products comprehensivelysurpass similar products at home and abroad. They have a longerservice life and serve many well-known enterprises and scientificresearch institutions, such as Anhui Wanyi Science and TechnologyCo., Ltd., Huawei, BYD, CATL, Apple, Tesla, China Academy ofEngineering Physics, Shanghai Synchrotron Radiation Facility,etc.