睿米? RMI-PSOZV?無源漏孔-外接氣源

依據(jù)客戶指定氣體、壓力、漏率jingque訂制

  睿米?推出RMI-PSOZV?零體積常閉氣動(dòng)閥無源漏孔，系統(tǒng)零沖擊|極低氣體損耗&衰減 |適合大漏率、超高真空、半導(dǎo)體、四極質(zhì)譜、昂貴氣體等場(chǎng)景|支持所有氣體/混氣：10-1 ~10-6mbar.L/s漏率定制，He,H2, D2, HD, N2, O2, Ar, Kr, Xe, Ne, CO2, CO,CH4...可以根據(jù)用戶的需要，做到高度的定制。包括定制漏率（如果是單一氣體，該氣體的漏率；如果是混合氣體，定制某一氣體的分漏率或混合氣總漏率）、氣體種類、比例、同位素、豐度等。

單一氣體定制： 可以選擇任何需要監(jiān)控或校準(zhǔn)的特定氣體，例如 H?,O?, CO?, CH?甲烷,SF?, Kr, Xe 等

混合氣體的定制：

1、氣體種類： jingque模擬實(shí)際工藝腔室或真空系統(tǒng)中的殘余氣體成分。

2、氣體比例： 設(shè)定各組分氣體的jingque濃度（例如：1ppmKr/Xe 余H2）。

3、同位素種類與豐度： 這對(duì)于使用同位素示蹤的研究、特定同位素敏感的應(yīng)用或需要校準(zhǔn)RGA同位素分辨能力的場(chǎng)景至關(guān)重要。例如，定制特定比例，1ppmKr/Xe 余N2等

應(yīng)用場(chǎng)景

1、半導(dǎo)體制造： jingque監(jiān)控和校準(zhǔn)RGA對(duì)工藝氣體殘留（如蝕刻、沉積、離子注入后的副產(chǎn)物）、腔體泄漏（特定氣體）的檢測(cè)能力。定制混合氣可模擬真實(shí)腔體環(huán)境。

2、真空鍍膜： 校準(zhǔn)RGA對(duì)背景氣體（水汽、氧氣、氮?dú)?、碳?xì)浠衔铮┑撵`敏度，確保鍍膜質(zhì)量。

3、高能物理/加速器： 需要監(jiān)控超純真空或特定氣體環(huán)境。同位素定制對(duì)某些實(shí)驗(yàn)尤為重要。

4、聚變研究： 對(duì)氫同位素（H?,D?, T?）及其比例的jingque監(jiān)測(cè)和校準(zhǔn)需求極高。

5、航天器測(cè)試： 模擬太空環(huán)境或檢測(cè)泄漏（如定制肼類氣體或氙氣）。

6、基礎(chǔ)研究： 任何需要jingque知道殘余氣體成分和比例，并對(duì)RGA測(cè)量精度有高要求的實(shí)驗(yàn)室。

7、泄漏檢測(cè)（配合示蹤氣）： 雖然RGA本身常用于檢漏，但定制特定示蹤氣體的標(biāo)準(zhǔn)漏孔可用于校準(zhǔn)整個(gè)檢漏系統(tǒng)（RGA+真空系統(tǒng)）對(duì)該種氣體的響應(yīng)。