分子增壓泵壓縮級(jí)的動(dòng)輪與吸氣級(jí)完全一樣，也是平圓盤，而靜輪卻有區(qū)別，如圖16。壓縮級(jí)的靜輪是在較厚的圓盤上兩邊開上螺旋槽，兩邊的螺旋槽方向根據(jù)需要可以相同也可以相反，這樣每側(cè)的螺旋槽與相鄰的動(dòng)輪也構(gòu)成了螺旋抽氣通道，只不過此時(shí)抽氣通道四個(gè)壁面，三個(gè)是靜止的，僅一個(gè)是運(yùn)動(dòng)的，經(jīng)吸氣級(jí)壓縮過的氣體在壓縮級(jí)已不需太高的抽動(dòng)系數(shù)。如壓縮級(jí)靜輪的螺旋方向與吸氣級(jí)靜輪螺旋方向相反，則可把吸氣級(jí)壓縮至軸心處的氣體繼續(xù)壓縮至外圓一側(cè)，如壓縮級(jí)靜輪兩側(cè)的螺旋方向相反，則經(jīng)一側(cè)壓縮至軸心（或外圓），另一側(cè)將繼續(xù)把氣體分子壓縮至外圓（軸心）。即一個(gè)靜輪與動(dòng)輪配合能連續(xù)完成兩次壓縮，分子增壓泵巨大的壓縮比，便是這些壓縮過程疊加作用的結(jié)果。由于分子之間的碰撞可以傳遞動(dòng)量，所以分子增壓泵的拖動(dòng)作用可以延伸到過渡流。

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更換軸承

 在分子泵中Zui容易損壞的就是軸承了，所以更換軸承是一個(gè)主要的工作。更換軸承需要愛一個(gè)干凈的環(huán)境中更換，我們一般更換的是馬達(dá)這邊的軸承。更換軸承需要一些特殊的專用工具。值得注意的是，在每次更換軸承的時(shí)候，油包也一定要更換。下面的圖是一些專用工具（真實(shí)自己可以加工的）。