噪音與振動(dòng)：從使用經(jīng)驗(yàn)來看，泵會(huì)出現(xiàn)振動(dòng)和噪音問題，多半是軸承損壞和平衡性差所出現(xiàn)的問題。在正常的工作中，泵處于平靜的狀態(tài)，Zui大振幅在0.1～0.001m(即100～1 nm)之間,在某些精密設(shè)備上得到應(yīng)用。而測(cè)不出易覺察的振動(dòng)如圖5所示。對(duì)渦輪分子泵（巴爾蔡司公司生產(chǎn)的330型渦輪分子泵）進(jìn)行頻譜分析。振動(dòng)速度V 的單位為m/s，頻率的單位為Hz，計(jì)算振幅可用公式：d=V/2 f，式中d 為振幅 m，f 為頻率Hz，產(chǎn)生的Zui大振幅＜0.005 m（＜5nm）如此小的振動(dòng)，渦輪分子泵運(yùn)轉(zhuǎn)很平穩(wěn)，噪音很小,對(duì)某些特殊應(yīng)用也是問題。

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優(yōu)點(diǎn)

渦輪分子泵可不用任何阱，按操作規(guī)程工作，就能為被抽容器提供一個(gè)極為清潔的真空環(huán)境，且不含有任何碳?xì)浠衔?。由于現(xiàn)代的渦輪分子泵除大泵外很少用油潤(rùn)滑的了，對(duì)于小泵多用油脂潤(rùn)滑軸承，也有用空氣軸承的，但磁懸浮軸承用得較多。近幾年來也有不少干式前級(jí)泵出現(xiàn)，使渦輪分子泵系統(tǒng)不存在油蒸汽返流，使它真正成為一種清潔的干式高真空泵

氣體輸送能力強(qiáng)

大多數(shù)渦輪分子泵對(duì)于輸送輕氣體（如氫、氦）的能力很強(qiáng)。因而它非常適于超高真空下的工藝操作。對(duì)于那些富氫的工藝過程，氦質(zhì)譜檢漏儀等場(chǎng)合均可得到應(yīng)用。有專門設(shè)計(jì)用于抽除腐蝕性氣體的渦輪分子泵，適用于刻蝕、反應(yīng)離子刻蝕，離子束加工，低壓化學(xué)氣相沉積，外延及離子注入等工藝操作。