GB50472-2008《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》對電子廠房的施工設(shè)計、噪聲、靜電、微振及潔凈度等參數(shù)進行了明確規(guī)定，依照該標準對電子工業(yè)潔凈廠房進行相關(guān)參數(shù)的監(jiān)測，為廠房的順利交付、生產(chǎn)工藝的改進及產(chǎn)品的質(zhì)量保證提供可靠的數(shù)據(jù)支持。中科檢測開展電子廠房潔凈檢測服務(wù)，具備CMA、CNAS資質(zhì)認證。

電子廠房潔凈檢測項目

風(fēng)速風(fēng)量、換氣次數(shù)、溫濕度、壓差、懸浮粒子、浮游菌、沉降菌、噪聲、照度等。詳情能夠參照潔凈室檢測的相關(guān)標準。

電子廠房潔凈檢測方法

1、風(fēng)速風(fēng)量換氣次數(shù)

潔凈室、潔凈區(qū)的潔凈度主要是通過送入足夠數(shù)量的潔凈空氣，來排替稀釋室內(nèi)產(chǎn)生的顆粒污染物來實現(xiàn)的。因此測定潔凈室或潔凈設(shè)施的送風(fēng)量、平均風(fēng)速、送風(fēng)均勻性、氣流流向還有流型等項目顯得非常必要了。

向流主要是依靠潔凈氣流推擠、排替室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的污染空氣以保持室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的潔凈度。所以它的送風(fēng)斷面風(fēng)速和均勻性是影響潔凈度的重要參數(shù)。越高、越均勻的斷面風(fēng)速能更快更有效地排除室內(nèi)工藝過程產(chǎn)生的污染物，所以它們是我們主要關(guān)注的的潔凈室檢測項目。

非單向流主要是靠送入的潔凈空氣來沖淡與稀釋室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的污染物來保持其潔凈度。結(jié)果指出換氣次數(shù)越大，氣流流型合理，稀釋效果就越好。因此非單相流潔凈室、潔凈區(qū)的送風(fēng)量和相應(yīng)的換氣次數(shù)，是Zui受關(guān)注的氣流測試項目。

2、溫濕度

潔凈室或潔凈設(shè)施的溫濕度測定，一般能夠分成兩檔：一般測試和綜合測試。在空態(tài)的交竣驗收測試對于第一個檔次來說是比較合適；在靜態(tài)或動態(tài)的綜合性能測試對于第二個檔次比較合適。這種測試適合于對溫度、濕度要求較嚴格的場合。

此檢測在氣流均勻性檢測后與空調(diào)系統(tǒng)調(diào)整后進行的。在此測試期間，空調(diào)系統(tǒng)運轉(zhuǎn)良好，各種狀況已經(jīng)穩(wěn)定。每個濕度控制區(qū)設(shè)置一個濕度傳感器是至少的，而且給予傳感器足夠的穩(wěn)定時間。測量應(yīng)該適合于實際使用，直到傳感器穩(wěn)定后再開始測量，測量時間必須大于5分鐘。

3、壓差

這種檢測是為了驗證完工設(shè)施和四周環(huán)境之間、設(shè)施內(nèi)各空間之間維持一定壓差的能力。這種檢測適用于全部3個占用狀態(tài)。這種檢測是必須的。對壓差的檢測應(yīng)該在全部門都關(guān)閉的條件下進行的，從高壓到低壓、從平面布置上和外界Zui遠的里間房間開始，然后依次向外檢測。不同等級的、有孔洞相通的潔凈室，在洞口處只有合理的氣流流向等。

(1)要求清潔區(qū)內(nèi)所有門全部關(guān)閉時，進行靜壓差的測定。

(2)在潔凈平面上，應(yīng)從潔凈度從高到低的順序依次進行，直到檢測到直通室外的房間。

(3)室內(nèi)沒有氣流影響時測管口應(yīng)設(shè)置在任何位置，測管口面和氣流流線平行。

(4)測量記錄的數(shù)據(jù)應(yīng)該到1.0Pa。

4、懸浮粒子

(1)室內(nèi)測試人員一定要穿潔凈服，要小于兩個人，應(yīng)位于測試點下風(fēng)側(cè)且遠離測試點，做換點操作時動作要輕，不要增加人員對室內(nèi)潔凈度的干擾。

(2)設(shè)備要在校準期內(nèi)使用。

(3)檢測前后設(shè)備要清零。

(4)在單向流區(qū)域，選定的采樣探頭要接近等動力采樣，進入采樣探頭的風(fēng)速和被采空氣的風(fēng)速偏差應(yīng)該小于20%。如果沒有做到這一點，就要將采樣口正對氣流的主方向。非單向流的采樣點，采樣口應(yīng)豎直向上。

(5)采樣口至粒子計數(shù)器傳感器的連接管應(yīng)盡量短。

5、浮游菌

Zui低采樣點數(shù)對應(yīng)著懸浮顆粒取樣點的數(shù)量，工作區(qū)測點位置離地0.8-1.2m左右，送風(fēng)口測點位置離送風(fēng)面30cm左右，關(guān)鍵設(shè)備或關(guān)鍵工作活動范圍處能增加測點，每個采樣點通常采樣一次。

6、沉降菌

在離地面0.8-1.2m處作業(yè)，將配制好的培養(yǎng)皿放置在取樣點，打開培養(yǎng)皿蓋，使其暴露規(guī)定的時間，再把培養(yǎng)皿蓋上，培養(yǎng)皿放在恒溫培養(yǎng)箱中培養(yǎng)，時間需要在48小時以上，每批要有對照試驗，以檢查培養(yǎng)基的污染情況。

7、噪聲

測量高度在距離地面1.2米左右、潔凈室面積在15平方以內(nèi)的，可以僅對室內(nèi)中心1點進行測量；面積在15平方米以上的，還應(yīng)再測對角4點，距側(cè)墻各1米，測點朝向各角。

8、照度

測點面距離地面0.8米左右，布點 2米，30平方米以內(nèi)的房間測點距邊墻0.5米，大于30 平方米的房間測點距離墻面1米。

電子廠房潔凈檢測標準

(1)《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB 50073-2001

(2)《醫(yī)院潔凈手術(shù)部建筑技術(shù)規(guī)范》 GB 50333-2002

(3)《生物安全實驗室建筑技術(shù)規(guī)范》GB 50346-2004

(4)《潔凈室施工及驗收規(guī)范》GB 50591-2010

(5)《醫(yī)藥工業(yè)潔凈室(區(qū))懸浮粒子的測試方法》GB/T 16292-2010

(6)《醫(yī)藥工業(yè)潔凈室(區(qū))浮游菌的測試方法》GB/T 16293-2010

(7)《醫(yī)藥工業(yè)潔凈室(區(qū))沉降菌的測試方法》GB/T 16294-2010