該設備用于氮化鎵（GAN）芯片生產(chǎn)工藝過程中的真空退火、合金、氧化、擴散等工藝。該系統(tǒng)具有準確溫度控制系統(tǒng)和真空壓力控制系統(tǒng)。
主要參數(shù)：
工作溫度范圍： 600-1280 度。
使用溫度：1200 度。
每爐可處理 25 片。標準晶圓舟 25 片。
爐管有效口徑：滿足 6 寸片，可向下兼容 4、2 寸。
升溫功率：18KVA/每管 。
電源：三相五線制： 380V 三相五線。
具有斷偶、超溫報警以及二次保護功能。
爐體，擴散爐，鏈式燒結(jié)爐，真空燒結(jié)爐，異型加熱器，水冷爐體等配套設備
一般項目：工業(yè)自動控制系統(tǒng)裝置制造；半導體器件專用設備制造；專用設備制造（不含許可類專業(yè)設備制造）；電子專用設備制造；電力電子元器件制造；電子元器件制造；半導體分立器件制造；光伏設備及元器件制造；環(huán)境保護專用設備制造；工業(yè)自動控制系統(tǒng)裝置銷售；電子產(chǎn)品銷售；半導體分立器件銷售；半導體照明器件銷售；半導體器件專用設備銷售；半導體照明器件制造；電子專用設備銷售；
青島晨立電子有限公司成立于2009年，是半導體設備及零部件、電子設備及電子元器件生產(chǎn)、研發(fā)、銷售廠家。為客戶提供先進材料熱處理、高精度電加熱設備及系統(tǒng)集成等全套解決方案。主要產(chǎn)品：高低溫擴散爐、實驗爐、共晶爐、燒結(jié)爐、加磁爐、高精度智能溫度控制系統(tǒng)和替代進口的擴散爐爐體等，同時承接各種微電子生產(chǎn)線，進口半導體專用設備的翻新升級改造及各大專院?？蒲性核姆菢搜邪l(fā)定制工作。公司本著和諧、共贏，以“質(zhì)量求發(fā)展、以誠信為根本、以客戶為中心、以用...