用途：
該設(shè)備用于半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)工藝過(guò)程中，在可控磁場(chǎng)中實(shí)現(xiàn)真空退火、真空合金、真空晶化等工藝。該系統(tǒng)具有準(zhǔn)確的磁場(chǎng)強(qiáng)度和溫度控制系統(tǒng)和高真空系統(tǒng)。
主要技術(shù)參數(shù)：
◆結(jié)構(gòu)型式：臥式熱壁型
◆工作溫度范圍：500度，700度，1100度。
◆恒溫區(qū)長(zhǎng)度及精度：±0.5℃/800mm
◆氣體流量設(shè)定精度:±1％F.S
◆氣路系統(tǒng)氣密性： 1×10-7pa.m3/s
◆工藝均勻性:≤±5％
◆控制方式： 工業(yè)微機(jī)控制
◆真空度： 5*10-4 Pa
◆記錄工藝曲線數(shù)量及工藝步數(shù)不受限制
爐體，擴(kuò)散爐，鏈?zhǔn)綗Y(jié)爐，真空燒結(jié)爐，異型加熱器，水冷爐體等配套設(shè)備
一般項(xiàng)目：工業(yè)自動(dòng)控制系統(tǒng)裝置制造；半導(dǎo)體器件專用設(shè)備制造；專用設(shè)備制造（不含許可類專業(yè)設(shè)備制造）；電子專用設(shè)備制造；電力電子元器件制造；電子元器件制造；半導(dǎo)體分立器件制造；光伏設(shè)備及元器件制造；環(huán)境保護(hù)專用設(shè)備制造；工業(yè)自動(dòng)控制系統(tǒng)裝置銷售；電子產(chǎn)品銷售；半導(dǎo)體分立器件銷售；半導(dǎo)體照明器件銷售；半導(dǎo)體器件專用設(shè)備銷售；半導(dǎo)體照明器件制造；電子專用設(shè)備銷售；
青島晨立電子有限公司成立于2009年，是半導(dǎo)體設(shè)備及零部件、電子設(shè)備及電子元器件生產(chǎn)、研發(fā)、銷售廠家。為客戶提供先進(jìn)材料熱處理、高精度電加熱設(shè)備及系統(tǒng)集成等全套解決方案。主要產(chǎn)品：高低溫?cái)U(kuò)散爐、實(shí)驗(yàn)爐、共晶爐、燒結(jié)爐、加磁爐、高精度智能溫度控制系統(tǒng)和替代進(jìn)口的擴(kuò)散爐爐體等，同時(shí)承接各種微電子生產(chǎn)線，進(jìn)口半導(dǎo)體專用設(shè)備的翻新升級(jí)改造及各大專院?？蒲性核姆菢?biāo)研發(fā)定制工作。公司本著和諧、共贏，以“質(zhì)量求發(fā)展、以誠(chéng)信為根本、以客戶為中心、以用...