X 射線熒光光譜儀的不斷完善和發(fā)展所帶動(dòng)的X射線熒光分析技術(shù)已被廣泛用于冶金、地質(zhì)、礦物、石油、化工、生物、、刑偵、考古等諸多部門和領(lǐng)域。X射線熒光光譜分析不僅成為對(duì)其物質(zhì)的化學(xué)元素、物相、化學(xué)立體結(jié)構(gòu)、物證材料進(jìn)行試測(cè)，對(duì)產(chǎn)品和材料質(zhì)量進(jìn)行無(wú)損檢測(cè)，對(duì)人體進(jìn)檢和微電路的光刻檢驗(yàn)等的重要分析手段，也是材料科學(xué)、生命科學(xué)、環(huán)境科學(xué)等普遍采用的一種快速、準(zhǔn)確而又經(jīng)濟(jì)的多元素分析方法。

XRF用光或其他激發(fā)源照射待分析樣品，樣品中的元素之內(nèi)層電子被擊出后，XRF廠家，造成核外電子的躍遷，XRF廠商，在被激發(fā)的電子返回基態(tài)的時(shí)候，XRF報(bào)價(jià)，會(huì)出特征光；不同的元素會(huì)出各自的特征光，具有不同的能量或波長(zhǎng)特性。檢測(cè)器(Detector)接受這些光，儀器軟件系統(tǒng)將其轉(zhuǎn)為對(duì)應(yīng)的信號(hào)。這一現(xiàn)象廣泛用于元素分析和化學(xué)分析，遼陽(yáng)XRF，特別是在研究金屬，玻璃，陶瓷和建筑材料，以及在地球化學(xué)研究、法醫(yī)學(xué)、電子產(chǎn)品進(jìn)料品管

當(dāng)具有高能量的入射（一次）X射線與原子發(fā)生碰撞時(shí)，會(huì)打破（待測(cè)樣品的）原子結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性。處于低能量電子殼層（如：K層）的電子更容易被激發(fā)而從原子中逐放出來(lái)，電子的逐放會(huì)導(dǎo)致該電子殼層出現(xiàn)相應(yīng)的電子空位，這時(shí)處于高能量電子殼層的電子（如：L層）會(huì)躍遷到該低能量電子殼層來(lái)補(bǔ)充相應(yīng)的電子空位。由于不用電子殼層之間存在著能量差距，這些能量上的差以二次X射線的形式釋放出來(lái).

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