半導(dǎo)體行業(yè)控溫系統(tǒng)-CDU冷卻控溫單元產(chǎn)品介紹：

半導(dǎo)體行業(yè)控溫系統(tǒng)-CDU冷卻控溫單元適用于半導(dǎo)體測(cè)試，電子設(shè)備恒溫測(cè)試，冷卻服務(wù)器配套基礎(chǔ)設(shè)施，及其他流體控溫場(chǎng)所。是具備獨(dú)立的換熱系統(tǒng)、供電系統(tǒng)和監(jiān)控系統(tǒng)的模塊化智能設(shè)備。

型號(hào)

ZLFQ-15

ZLFQ-25

ZLFQ-50

ZLFQ-75

ZLFQ-100

ZLFQ-150

溫度范圍

冷卻水溫度+5℃～35℃   

冷卻水

5℃~30℃ 采用西門子/霍尼韋爾調(diào)節(jié)閥控制冷卻水流量

控溫精度

±0.2℃

±0.5℃

流量控制  

10～25L/min

25～50L/min

40～110L/min

70～150L/min

150～250L/min

200～400L/min

流量控制采用變頻器調(diào)節(jié)，精度±0.3L/min

制冷量（MAX）

15kW

25kW

50kW

75kW

100kW

150kW

儲(chǔ)液容積

15L

30L

60L

100L

150L

200L

載冷劑

水、硅油、氟化液、乙二醇水溶液等

控制器

PLC，模糊PID控制算法，具備串級(jí)控制算法

溫度控制

導(dǎo)熱介質(zhì)出口溫度控制模式，具備串級(jí)控制算法

通信協(xié)議

以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議   

RS485接口 modbus RTU協(xié)議

設(shè)備內(nèi)部溫度反饋

設(shè)備導(dǎo)熱介質(zhì)出口溫度、介質(zhì)進(jìn)口溫度、冷卻水溫度

水箱液位

進(jìn)出口壓力傳感器檢測(cè)，冷卻水壓力檢測(cè)

介質(zhì)管路

SUS304

換熱器

板式換熱器，特別注意：需要使用清潔廠務(wù)水

操作面板

無(wú)錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏，溫度曲線顯示\EXCEL 數(shù)據(jù)導(dǎo)出

安全防護(hù)

具有自我診斷功能；相序斷相保護(hù)器；壓力保護(hù)，過(guò)載繼電器、熱保護(hù)裝置等多種安全保障功能。

進(jìn)出接口尺寸

G3/4

G1

G1

DN32

DN40

DN50

冷卻水接口

G3/4

G1

DN40

DN50

DN50

DN65

冷卻方式

水冷，廠務(wù)水溫度低于設(shè)備所提供的的低溫度3℃以上，且水溫波動(dòng)≤3℃

冷卻水流量7～20℃

2.5m3/h

4m3/h

8m3/h

13m3/h

17m3/h

25m3/h

電源

380V50HZ

 1kW

1.5kW

3kW

4kW

5kW

6kW

外殼

冷軋板噴塑RAL7035

　　3、Chiller 直冷型制冷（-40℃、-80℃、-150℃）：

　　Chiller 直冷型制冷將制冷系統(tǒng)中的制冷劑直接輸出蒸發(fā)進(jìn)入目標(biāo)控制元件（換熱器）換熱，從而使目標(biāo)控制對(duì)象降溫。具備換熱能力相對(duì)于流體（氣體）輸送入換熱器換熱能力更高，這樣特別適用于換熱器換熱面積小，但是換熱量大的運(yùn)用場(chǎng)所。也可以如氣體捕集運(yùn)用，將制冷劑直接通入捕集器蒸發(fā)，通過(guò)捕集器表面冷凝效應(yīng)，迅速捕集空間中的氣體

　　4、循環(huán)風(fēng)控溫裝置 AI (-65℃~125℃、-80℃、-105℃）：

　　循環(huán)風(fēng)控溫裝置運(yùn)用于半導(dǎo)體設(shè)備高低溫測(cè)試。電子設(shè)備高溫低溫恒溫測(cè)試?yán)錈嵩?，可連續(xù)長(zhǎng)時(shí)間工作，自動(dòng)除霜,除霜過(guò)程不影響庫(kù)溫，模塊化設(shè)計(jì)，備用機(jī)替換容易(只要一臺(tái)備用機(jī)組即可)，構(gòu)筑一套高低溫恒溫室變的簡(jiǎn)單(根據(jù)提供的圖紙，像搭積木一般拼接好箱體，連接好電和水,設(shè)定好溫度即可工作)