半導(dǎo)體行業(yè)控溫系統(tǒng)-CDU冷卻控溫單元產(chǎn)品介紹：

半導(dǎo)體行業(yè)控溫系統(tǒng)-CDU冷卻控溫單元適用于半導(dǎo)體測(cè)試，電子設(shè)備恒溫測(cè)試，冷卻服務(wù)器配套基礎(chǔ)設(shè)施，及其他流體控溫場(chǎng)所。是具備獨(dú)立的換熱系統(tǒng)、供電系統(tǒng)和監(jiān)控系統(tǒng)的模塊化智能設(shè)備。

型號(hào)

ZLFQ-15

ZLFQ-25

ZLFQ-50

ZLFQ-75

ZLFQ-100

ZLFQ-150

溫度范圍

冷卻水溫度+5℃～35℃   

冷卻水

5℃~30℃ 采用西門子/霍尼韋爾調(diào)節(jié)閥控制冷卻水流量

控溫精度

±0.2℃

±0.5℃

流量控制  

10～25L/min

25～50L/min

40～110L/min

70～150L/min

150～250L/min

200～400L/min

流量控制采用變頻器調(diào)節(jié)，精度±0.3L/min

制冷量（MAX）

15kW

25kW

50kW

75kW

100kW

150kW

儲(chǔ)液容積

15L

30L

60L

100L

150L

200L

載冷劑

水、硅油、氟化液、乙二醇水溶液等

控制器

PLC，模糊PID控制算法，具備串級(jí)控制算法

溫度控制

導(dǎo)熱介質(zhì)出口溫度控制模式，具備串級(jí)控制算法

通信協(xié)議

以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議   

RS485接口 modbus RTU協(xié)議

設(shè)備內(nèi)部溫度反饋

設(shè)備導(dǎo)熱介質(zhì)出口溫度、介質(zhì)進(jìn)口溫度、冷卻水溫度

水箱液位

進(jìn)出口壓力傳感器檢測(cè)，冷卻水壓力檢測(cè)

介質(zhì)管路

SUS304

換熱器

板式換熱器，特別注意：需要使用清潔廠務(wù)水

操作面板

無錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏，溫度曲線顯示\EXCEL 數(shù)據(jù)導(dǎo)出

安全防護(hù)

具有自我診斷功能；相序斷相保護(hù)器；壓力保護(hù)，過載繼電器、熱保護(hù)裝置等多種安全保障功能。

進(jìn)出接口尺寸

G3/4

G1

G1

DN32

DN40

DN50

冷卻水接口

G3/4

G1

DN40

DN50

DN50

DN65

冷卻方式

水冷，廠務(wù)水溫度低于設(shè)備所提供的的低溫度3℃以上，且水溫波動(dòng)≤3℃

冷卻水流量7～20℃

2.5m3/h

4m3/h

8m3/h

13m3/h

17m3/h

25m3/h

電源

380V50HZ

 1kW

1.5kW

3kW

4kW

5kW

6kW

外殼

冷軋板噴塑RAL7035

　　半導(dǎo)體溫控裝置Chiller 主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測(cè)試環(huán)節(jié)的溫度準(zhǔn)確控制，產(chǎn)品有流體氟化液控溫、氣體冷熱快速溫變、快速溫變卡盤、低溫氣體制冷機(jī)、直冷型制冷機(jī)組等。冠亞制冷公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)快速響應(yīng)、較高的控制精度。

　　1、chiller系列：

　　chiller系列分為7℃~40℃、-25℃~40℃、-45℃~40℃、30℃~90℃ 變頻雙路、-80℃~80℃ -100℃~80℃復(fù)疊制冷、換熱控溫（無壓縮機(jī)）（20℃~90℃）等，chiller 的排吸氣溫度（壓力）、冷凝溫度、冷卻水溫度（壓力）、進(jìn)出液體（氣體）溫度（壓力）、用電功率、各部件電流、電壓、水箱液位等重要信息均通過傳感器接入控制系統(tǒng)進(jìn)行管理監(jiān)控記錄。

　　2、Chiller 氣體降溫（-40℃、-80℃、-100℃）：

　　Chiller 氣體降溫控溫系列將氣體（無腐蝕）降溫使用：如干燥壓縮空氣、氮?dú)?、氬氣等常溫氣體通入到LQ系列設(shè)備內(nèi)部，出來的氣體即可達(dá)到目標(biāo)低溫溫度，供給需求測(cè)試的元件或換熱器中。