磁控濺射鍍膜機(jī) 北京泰科諾
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- 品牌
- 北京泰科諾
- 型號(hào)
- JCP-600/800
| 品牌 | / | 型號(hào) | / |
| 適用范圍 | 科研院所的教學(xué)研究以及中小型企業(yè)鍍膜生產(chǎn) | 電鍍電源 | 雙脈沖電源 |
| 電鍍位置 | 磁控濺射鍍膜+蒸發(fā)鍍膜 | 鍍種 | 制備各種單層或多層的電子元器件膜、反應(yīng)膜、絕緣膜、磁記錄膜、光記錄膜、透明導(dǎo)電膜、高溫超導(dǎo)膜等，并可在異形體表面進(jìn)行鍍膜 |
設(shè)備擴(kuò)展性強(qiáng)：三靶+一對(duì)蒸發(fā)電極；配3英寸或4英寸永磁靶或矩形靶，基片臺(tái)公自轉(zhuǎn)、加熱、加負(fù)偏壓；能進(jìn)行磁控濺射鍍膜+蒸發(fā)鍍膜；可用于制備各種單層或多層的電子元器件膜、反應(yīng)膜、絕緣膜、磁記錄膜、光記錄膜、透明導(dǎo)電膜、高溫超導(dǎo)膜等，并可在異形體表面進(jìn)行鍍膜。適合于科研院所的教學(xué)研究以及中小型企業(yè)鍍膜生產(chǎn)之用。
技術(shù)參數(shù)
設(shè)備名稱型號(hào)腔室尺寸鍍膜方式真空室結(jié)構(gòu)極限真空膜厚不均勻性工件烘烤溫度工件運(yùn)動(dòng)方式工藝氣體報(bào)警及保護(hù)控制方式
| jcp-600系列多靶磁控/蒸發(fā)鍍膜機(jī) | jcp-800系列多靶磁控/蒸發(fā)鍍膜機(jī) |
| jcp-600 | jcp-800 |
| φ600mm×h600mm | φ800mm×h800mm |
| 直流/中頻/射頻磁控濺射鍍膜 + 蒸發(fā)鍍膜（選配） | |
| 前開門結(jié)構(gòu)，后置抽氣系統(tǒng) | |
| 8.0×10-5pa | |
| ≤±5% | |
| 室溫至350℃可調(diào)可控（pid控溫） | |
| 旋轉(zhuǎn)無極變速可調(diào)可控(0-20rpm) | |
| 3路氣體流量控制 | |
| 對(duì)泵、電極等缺水、過流過壓、斷路等異常情況進(jìn)行報(bào)警并執(zhí)行相應(yīng)保護(hù)措施 | |
| 自動(dòng)抽真空，可選配plc手自動(dòng)控制或計(jì)算機(jī)控制 | |
真空鍍膜設(shè)備，PVD鍍膜加工，類金剛石涂層加工，磁控濺射鍍膜機(jī)，純離子鍍膜設(shè)備
納米薄膜、機(jī)電一體化、機(jī)電設(shè)備、材料科學(xué)設(shè)備及技術(shù)研發(fā)、設(shè)計(jì)、安裝、維修、服務(wù)及銷售。（依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動(dòng)）
安徽純?cè)村兡た萍加邢薰臼怯尚录悠職w國創(chuàng)業(yè)團(tuán)隊(duì)于2014年創(chuàng)立的高科技公司，坐落于合肥市高新區(qū)習(xí)友路3789號(hào)。主要從事真空納米、微米級(jí)高端鍍膜裝備的設(shè)計(jì)、研發(fā)和制造；并提供多種功能膜層的工藝開發(fā)和鍍膜加工服務(wù)。公司目前擁有設(shè)計(jì)、研發(fā)、工藝、市場(chǎng)和生產(chǎn)等各方面的人才。在陰極弧（Cathode Arc）、磁控濺射(Sputter)、電子束蒸發(fā)(E-beam Evaporation)、離子束刻蝕清洗(IBE)、化學(xué)氣相沉積（CVD）等領(lǐng)域都...