氦質(zhì)譜檢漏方法分析

氦質(zhì)譜檢漏是以氦作探索氣體，對(duì)各種需密封的容器的漏隙進(jìn)行快速定位和定量檢測(cè)的理想方法。氦質(zhì)譜檢漏法有優(yōu)點(diǎn)在于：①氦是惰性氣體，對(duì)大氣無(wú)污染，使用安全；②氦原子質(zhì)量小，黏度小，易滲透過(guò)可能存在的漏隙。③氦氣在大氣中含量?。?ppm），不易受干擾。④氦質(zhì)譜檢漏儀檢測(cè)靈敏度高，速度快，真空箱氦檢漏系統(tǒng)哪家好，適用范圍廣；

目前國(guó)內(nèi)生產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀小可檢漏率可達(dá)到5.0×10-12Pa·m3/s，如北京中科科儀生產(chǎn)的542檢漏儀。國(guó)外檢漏儀小可檢漏率高可達(dá)到5.0×10-13Pa·m3/s，如德國(guó)Inficon，真空箱氦檢漏系統(tǒng)報(bào)價(jià)，法國(guó)阿爾卡特等。

目前，國(guó)內(nèi)外比較流行的針對(duì)空調(diào)兩器檢漏方法，多采用真空箱法。后續(xù)將著重介紹真空箱法檢漏在空調(diào)兩器檢測(cè)方面的應(yīng)用。

汽車空調(diào)兩器檢測(cè)要求

空調(diào)兩器實(shí)際工況

（1）空調(diào)兩器工作介質(zhì)：氟利昂或者碳?xì)浠衔镒鳛橹评鋭┕ぷ饔谄嚳照{(diào)內(nèi)部，真空箱氦檢漏系統(tǒng)維修，目前比較流行使用R134a作為汽車空調(diào)的制冷劑。

（2）壓力范圍：不同規(guī)格的空調(diào)兩器高工作范圍在2.0~3.5MPa之間，正常工作壓力在0.8~2.0MPa之間。注：特殊情況除外。

（3）氣密性要求：對(duì)于兩器產(chǎn)品，充注一定壓力R134a制冷劑，泄露量小于2克/年。

（4） 耐壓要求：對(duì)產(chǎn)品加壓到實(shí)驗(yàn)壓力，保壓一段時(shí)間，降到常壓，經(jīng)檢查無(wú)泄漏和異常變形。

空調(diào)兩器氦檢漏基本要求

（1）耐壓測(cè)試要求：一般兩器在執(zhí)行氦檢漏之前會(huì)充注一定壓力（一般不超過(guò)3.5MPa）的高純氮?dú)饣蛘吒稍锏膲嚎s空氣，對(duì)工件作耐壓測(cè)試，如果不出現(xiàn)明顯變形及大漏，再執(zhí)行氦檢測(cè)工藝。

（2）氦檢測(cè)精度要求：由于不同生產(chǎn)企業(yè)對(duì)產(chǎn)品的檢測(cè)要求不盡相同，但一般都會(huì)遵循行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，或比行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)要求稍高。通?！皟善鳌睓z測(cè)標(biāo)準(zhǔn)不會(huì)超過(guò)1克/年。

（3）檢測(cè)節(jié)拍要求：據(jù)調(diào)查一般的兩器生產(chǎn)廠家年產(chǎn)量都會(huì)在十萬(wàn)只以上，要實(shí)現(xiàn)所有產(chǎn)品全部使用氦檢測(cè)，莆田真空箱氦檢漏系統(tǒng)，就要求氦檢測(cè)節(jié)拍越快越好。中科科美生產(chǎn)的氦檢系統(tǒng)，針對(duì)冷凝器檢漏節(jié)拍在40秒/件，針對(duì)蒸發(fā)器檢漏可達(dá)20秒每件；

（4）氦氣回收要求：氦檢漏系統(tǒng)使用氦氣作為示蹤氣體，由于氦氣比較貴重，如果直接排放，必然導(dǎo)致檢測(cè)成本的大幅增加。因此，一般廠家都會(huì)要求氦氣可回收，即循環(huán)利用。KYKY生產(chǎn)的氦檢系統(tǒng)，氦氣回收率可達(dá)95%以上

真空箱氦檢漏及回收系統(tǒng)基本原理

采用背壓法對(duì)被檢工件進(jìn)行漏率檢測(cè)，并對(duì)氦氣進(jìn)行回收利用。首先對(duì)被檢工件放入真空箱內(nèi)，充入一定壓強(qiáng)的氮?dú)?，作耐壓測(cè)試，通過(guò)保壓判斷壓降確定是否有大漏；然后對(duì)被檢工件抽空后充入一定壓強(qiáng)的氦氣，真空箱與檢漏儀的檢漏口相接，若被檢工件有泄漏，則漏入真空箱的氦氣可通過(guò)檢漏儀測(cè)出。與被檢工件相連的是充氣回收裝置，在檢漏前后分別實(shí)現(xiàn)氦氣的充注和回收。

為滿足工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)快節(jié)奏檢測(cè)節(jié)拍、充分利用資源、節(jié)約設(shè)備制造成本。系統(tǒng)采用雙工位設(shè)計(jì)，系統(tǒng)原理簡(jiǎn)圖如圖一所示，兩個(gè)工位共用一套粗抽機(jī)組、精抽機(jī)組、檢漏儀、耐壓測(cè)試單元、工件抽空單元、氦氣充注及回收單元。兩個(gè)工位可交替執(zhí)行不同工藝流程，比如一個(gè)工位在檢漏時(shí)，另一個(gè)工位可執(zhí)行抽空、檢漏等步序。根據(jù)此原理。

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