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分子泵
分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長。為了提高抽速，國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用，愛發(fā)科VDN401真空泵銷售，既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著中國半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展，分子泵應(yīng)該是中國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點(diǎn)。首先，分子泵要從小到大建立完整系列，以滿足不同場合的需要。
1.油潤滑旋片式真空泵
U4.20~U4.630
抽速： 18~638m3/h
真空度：0.5~3mbar
2.無油旋片式真空泵
VT4.4~VT4.40
KVT3.60~KVT3.140
VTLF200~VTLF500
抽速： 4~40m3/h
55~129m3/h
178~498m3/h
真空度：100~250mbar
3.無油旋片式壓力/真空泵
T4.25DSK~T4.40DSK
DVT3.60~DVT3.140
抽速:25~137m3/h
真空泵壓力：--正負(fù)600mbar
高真空系滑閥式真空泵（Rotary Piston VacuumPump）廣泛應(yīng)用于真空拉晶、真空鍍膜、真空冶金、真空熱處理、真空浸漬、真空干燥、真空蒸餾、真空練泥、航空航天模擬試驗(yàn)等新材料、新技術(shù)、新工藝的生產(chǎn)與研制中。
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許可項(xiàng)目:技術(shù)進(jìn)出口;貨物進(jìn)出口;進(jìn)出口代理(依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動,具體經(jīng)營項(xiàng)目以審批結(jié)果為準(zhǔn))一般項(xiàng)目:工程和技術(shù)研究和試驗(yàn)發(fā)展;泵及真空設(shè)備銷售;電子真空器件銷售;塑料制品銷售;儀器儀表銷售;潤滑油銷售;石油鉆采專用設(shè)備銷售;石油制品銷售(不含危險(xiǎn)化學(xué)品);專用設(shè)備修理;電氣設(shè)備修理;普通機(jī)械設(shè)備安裝服務(wù);專業(yè)設(shè)計(jì)服務(wù);電
蘇州方歐真空科技有限公司位于蘇州工業(yè)園區(qū)，注冊資金500萬，服務(wù)網(wǎng)點(diǎn)遍布華南華東，主要從事真空泵生產(chǎn)銷售，真空泵維修保養(yǎng)，并提供各式真空系統(tǒng)的技術(shù)解決方案、安裝調(diào)試、保養(yǎng)維修及現(xiàn)場服務(wù)。公司擁有一批專業(yè)的技術(shù)維修團(tuán)隊(duì)，在維修方面擁有豐富的經(jīng)驗(yàn)，設(shè)有維修工廠及檢測設(shè)備，為客戶提供24小時(shí)真空泵技術(shù)支持及售后服務(wù)；根據(jù)客戶需求，為客戶提供專業(yè)合適的真空方案及設(shè)備。公司產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于印刷業(yè)、電子業(yè)、半導(dǎo)體工業(yè)、太陽能光伏業(yè)、風(fēng)電行業(yè)、食品業(yè)、...