真空檢漏

超聲波法

該方法實際上是聽音法的一種。它是將泄漏聲音中可聽頻率部分截掉，僅僅使超聲波部分放大，以檢測出泄漏。檢測時，可以直接使用超聲波檢測器，根據檢測儀表指針是否擺動，確定有無泄漏。也可以采用使超聲波回到可聽頻率范圍內鳴笛的方法。采用后一種原理制造的超聲波轉換器不僅在被試驗物加壓時可以使用，在抽真空時，由于吸入的空氣發(fā)出超聲波，因而，采用真空法時也可以使用。

超聲波轉換器由于只檢測超聲波部分，在普通工廠的噪音條件下，不受明顯干擾，因此檢漏效果很好。

該法的靈敏度與被試驗物體的加壓、減壓狀況、泄漏的大小、泄漏點與檢漏器（探頭）間的距離等因素有關。當泄漏點與探頭距離很近時，超聲波轉換器的靈敏度可達1′10-2cm3/s。

檢漏時將檢漏器的靈敏度調到較大，一邊移動探頭，一邊偵聽，使能聽到的超聲波發(fā)出的聲音達到較大。然后，再尋找發(fā)出超聲波的位置，以便確定泄漏點。但在探頭不易接近的地方出現泄漏時，就很準確地判斷出泄漏點。這種方法操作簡便，人為因素較小，不同檢測人員所得到的檢測結果基本相同。

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氫氣檢漏法的優(yōu)勢

制冷、空調行業(yè)檢漏技術的現狀：在產品部件生產過程中，目前常使用氦檢漏技術來查找微小的泄漏，而保壓測試和水浴法常被用來檢測較大的泄漏。產品裝配完成并充入制冷劑之后，可能在出廠前還會使用鹵素檢漏儀對整個產品再進行一次檢漏。由于保壓測試和水浴法只能檢出10-3mbar·l/s左右的泄漏，因此長期以來，氦檢漏技術是制冷、空調行業(yè)中的檢小漏的手段，真空箱氫氣檢漏系統(tǒng)價格，吸槍式氦檢漏技術一般可以檢出10-7mbar·l/s左右的泄漏。但是，以氦氣作為示漏氣體，也有一些不足之處，例如橡膠、塑料等有機材料常常會吸收氦氣，在吸收后慢慢地釋放出來;所有的氦氣檢漏儀器機構的離子收集板，對氦氣都會產生記憶效應，即氦離子打到離子收集板上，并儲存一定時間，然后再慢慢釋放出來，從而造成本底的噪音等問題。

無論是在漏點定位還是在泄漏測試應用，這種檢漏方法已經在各個行業(yè)領域內得到了廣泛使用。與氦氣相比，使用低密度的安全氫氣作為檢漏用的示蹤氣體具有很多優(yōu)勢。其價格非常低廉，很容易在各個氣體供應商處購得?，F今的氫氮混合氣檢漏技術可以檢出低至5*10-7mbar/s的泄漏，相當于0.1g/y，其氣體使用成本僅是氦氣的1/10到1/20，同時氦氣檢漏法要增加一些輔助設備，如氦氣回收系統(tǒng)等。

真空設備檢漏

設備及密封器件的微小漏隙進行定位、定量和定性檢測的專用檢漏儀器。它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高、操作簡便，檢測迅速等特點，是在真空檢漏技術中用得普遍的檢漏儀器，

其測量工作原理如下。氦質譜檢漏儀是根據質譜學原理制成的磁偏轉型的質譜分析計，用氦氣作為示漏檢測氣體制成的氣密性質譜檢漏儀器。其結構主要由進樣系統(tǒng)、離子源、質量分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計等組成。離子源是氣體電離，形成一束具有特定能量的離子。質量分析器是一個均勻的磁場空間，不同離子的質荷比不同，在磁場中就會按照不同軌道半徑運動而進行分離，在設計時只讓氦離子飛出分析器的縫隙，打在收集器上。收集放大器收集氦離子流并送入到電流放大器，通過測量離子流就可知漏率。冷陰極電離真空計指示質譜室的壓力及用作保護裝置。

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