廣電計(jì)量技術(shù)工程師：黃工

AEC-Q100認(rèn)證項(xiàng)目一、概述

什么是AEC?

AEC 是“Automotive Electronics Council：汽車電子協(xié)會(huì)”的簡(jiǎn)稱。

克萊斯勒、福特和通用汽車為建立一套通用的零件資質(zhì)及質(zhì)量系統(tǒng)標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)立了汽車電子委員會(huì)(AEC)，是主要汽車制造商與美國(guó)的主要部件制造商匯聚一起成立的、以車載電子部件的可靠性以及認(rèn)定標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)格化為目的的團(tuán)體，AEC建立了質(zhì)量控制的標(biāo)準(zhǔn)。同時(shí)，由于符合AEC規(guī)范的零部件均可被上述三家車廠同時(shí)采用，促進(jìn)了零部件制造商交換其產(chǎn)品特性數(shù)據(jù)的意愿，并推動(dòng)了汽車零件通用性的實(shí)施，為汽車零部件市場(chǎng)的快速成長(zhǎng)打下基礎(chǔ)。主要的汽車電子成員有：Autoliv,Continental, Delphi, Johnson Controls 和 Visteon。

目前汽車產(chǎn)業(yè)中針對(duì)于零件資格及品質(zhì)系統(tǒng)標(biāo)準(zhǔn)的就是AEC(汽車電子委員會(huì))，針對(duì)于主動(dòng)零件所設(shè)計(jì)出的標(biāo)準(zhǔn)為
[AEC-Q100]，針對(duì)于被動(dòng)元件設(shè)計(jì)為[AEC-Q200]，其規(guī)范了被動(dòng)零件所必須達(dá)成的產(chǎn)品品質(zhì)與可靠度。

AEC-Q100認(rèn)證是什么？

AEC-Q100是基于集成電路應(yīng)力測(cè)試認(rèn)證的失效機(jī)理。

      如果成功完成根據(jù)本文件各要點(diǎn)需要的測(cè)試結(jié)果，那么將允許供應(yīng)商聲稱他們的零件通過(guò)了AECQ100-亞洲精品久久無(wú)碼AV片銀杏メイリン モデルコレクション メ_國(guó)產(chǎn)精品婷婷五月久久久久メイリン モデルコレクション メイ認(rèn)證。供應(yīng)商可以與客戶協(xié)商，可以在樣品尺寸和條件的認(rèn)證上比文件要求的要放寬些，但是只有完成要求實(shí)現(xiàn)的時(shí)候才能認(rèn)為零件通過(guò)了AECQ100-亞洲精品久久無(wú)碼AV片銀杏メイリン モデルコレクション メ_國(guó)產(chǎn)精品婷婷五月久久久久メイリン モデルコレクション メイ 認(rèn)證。

零件工作溫度等級(jí)的定義

零件工作溫度等級(jí)定義如下：

0 等級(jí)：環(huán)境工作溫度范圍-40℃-150℃

1 等級(jí)：環(huán)境工作溫度范圍-40℃-125℃

2 等級(jí)：環(huán)境工作溫度范圍-40℃-105℃

3 等級(jí)：環(huán)境工作溫度范圍-40℃-85℃

4 等級(jí)：環(huán)境工作溫度范圍0℃-70℃

認(rèn)證要求及目的

測(cè)試樣品：

1）批次要求：測(cè)試樣品應(yīng)該由認(rèn)證家族中有代表性的器件構(gòu)成，由于缺少通用數(shù)據(jù)就需要有多批次的測(cè)試，表1中列出的測(cè)試樣品必須是由非連續(xù)晶圓批次中近似均等的數(shù)量組成，并在非連續(xù)成型批次中裝配。即樣品在生產(chǎn)廠里必須是分散的，或者裝配加工線至少有一個(gè)非認(rèn)證批次；

2）生產(chǎn)要求：所有認(rèn)證器件都應(yīng)在制造場(chǎng)所加工處理，有助于量產(chǎn)時(shí)零件的傳輸。其他電測(cè)試場(chǎng)所可以在其電性質(zhì)證實(shí)有效后用于電測(cè)量。

3）測(cè)試樣品的再利用：已經(jīng)用來(lái)做非破壞性認(rèn)證測(cè)試的器件可以用來(lái)做其他認(rèn)證測(cè)試，而做過(guò)破壞性認(rèn)證測(cè)試的器件則除了工程分析外不能再使用；

4）樣品尺寸要求

用于認(rèn)證測(cè)試的樣品尺寸與（或）提交的通用數(shù)據(jù)必須與表1中指定的Zui小樣品尺寸和接受標(biāo)準(zhǔn)相一致。如果供應(yīng)商選擇使用通用數(shù)據(jù)來(lái)認(rèn)證，則特殊的測(cè)試條件和結(jié)果必須記錄并對(duì)使用者有可用性?，F(xiàn)有可用的通用數(shù)據(jù)應(yīng)首先滿足這些要求和表1的每個(gè)測(cè)試要求。如果通用數(shù)據(jù)不能滿足這些要求，就要進(jìn)行器件特殊認(rèn)證測(cè)試。

5)預(yù)前應(yīng)力測(cè)試和應(yīng)力測(cè)試后要求：表1中的附加要求欄為每個(gè)測(cè)試指定了終端測(cè)試溫度（室溫、高溫和低溫）。溫度特殊值必須設(shè)有Zui差情況，即每個(gè)測(cè)試中用至少一個(gè)批次的

通用數(shù)據(jù)和器件特殊數(shù)據(jù)來(lái)設(shè)置溫度等級(jí)極端。

6）應(yīng)力測(cè)試失效后的定義：

     測(cè)試失效定義為設(shè)備不符合測(cè)試的器件規(guī)范和標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范，或是供應(yīng)商的數(shù)據(jù)表，任何由于環(huán)境測(cè)試導(dǎo)致的外部物理破壞的器件也要被認(rèn)為是失效的器件。如果失效的原因被廠商和使用者認(rèn)為是非正確運(yùn)轉(zhuǎn)、靜電放電或一些其他與測(cè)試條件不相關(guān)的原因，失效就算不上，但作為數(shù)據(jù)提交的一部份上報(bào)。

3.1新器件認(rèn)證：

      新器件認(rèn)證的應(yīng)力測(cè)試要求流程如圖1 所示，表1中描述了相關(guān)的測(cè)試條件。對(duì)于每個(gè)認(rèn)證，無(wú)論是待認(rèn)證器件的應(yīng)力測(cè)試結(jié)果還是可接受的通用數(shù)據(jù)，供應(yīng)商都必須有這些所有的數(shù)據(jù)。復(fù)審也應(yīng)由同類家族的器件構(gòu)成，以確保在這個(gè)家族中沒(méi)有存在普遍的失效機(jī)理。無(wú)論何時(shí)認(rèn)為通用數(shù)據(jù)的可用性，都要得到供應(yīng)商的論證和使用者的核準(zhǔn)。

對(duì)于每個(gè)器件認(rèn)證，供應(yīng)商必須提供以下：

●設(shè)計(jì)、建造和認(rèn)證的證書

●應(yīng)力測(cè)試認(rèn)證數(shù)據(jù)

●用經(jīng)過(guò) 認(rèn)證（當(dāng)適用于器件類型時(shí)）的軟件故障等級(jí)水平的指示數(shù)據(jù)，可以利用并能達(dá)到客戶的要求。

3.1.1當(dāng)前認(rèn)證家族中新器件的認(rèn)證

   如果通過(guò)供應(yīng)商論證和使用者的同意，目前認(rèn)證家族中的新的或重新設(shè)計(jì)的產(chǎn)品（晶圓修改版）可以用一個(gè)晶圓批次進(jìn)行認(rèn)證。

3.2器件改變后的重新認(rèn)證

當(dāng)供應(yīng)商對(duì)產(chǎn)品或（和）制程作出了改變，從而影響了（或潛在影響）器件的外形、安裝、功能、質(zhì)量和（或）可靠性時(shí)，該器件就需要重新認(rèn)證。

3.2.1 制程改變須知

   供應(yīng)商將會(huì)滿足客戶對(duì)產(chǎn)品/制程改變的要求。

3.2.2需要重新認(rèn)證的改變：

     產(chǎn)品任何Zui小的改變，都要用表2 來(lái)決定重新認(rèn)證的測(cè)試計(jì)劃，需要進(jìn)行表1中列出的可適用的測(cè)試。表2應(yīng)該作為一種指導(dǎo)，用以決定哪種測(cè)試可以用來(lái)作為特殊零件改變的認(rèn)證，或者對(duì)于那些測(cè)試，是否相當(dāng)于通用數(shù)據(jù)來(lái)提交。

3.2.3 通過(guò)重新認(rèn)證的標(biāo)準(zhǔn)

   所有重新認(rèn)證都應(yīng)分析根本原因，根據(jù)需要確定糾正的和預(yù)防性的行動(dòng)。如果Zui低程度的適當(dāng)?shù)亩糁狗绞降玫搅耸褂谜叩恼撟C和承認(rèn)，器件和（或）認(rèn)證家族可以暫被承認(rèn)為“認(rèn)證狀態(tài)”，一直到有適當(dāng)糾正的和預(yù)防性的行動(dòng)為止。

3.2.4 使用者承認(rèn)

一種改變不會(huì)影響器件的工作溫度等級(jí)，但是會(huì)影響其應(yīng)用時(shí)的性能。對(duì)于一些使用者的特別應(yīng)用將需要其對(duì)制程改變有單獨(dú)的授權(quán)許可，而許可方式則超出了本文件的范圍。

通用測(cè)試

測(cè)試流程如圖1所示，測(cè)試細(xì)則如表1所列。并不是所有測(cè)試都適用于一切器件，例如某些測(cè)試只適用于陶瓷封裝器件，其他測(cè)試只適用于非易失性存儲(chǔ)器器件等。表1的注釋欄中指定了適用于特殊器件類型的測(cè)試。表2的“附加要求”欄中也提供了重點(diǎn)測(cè)試要求，取代了參考測(cè)試方法的那些要求。任何使用者要求的及未列入本文件的特別認(rèn)證測(cè)試和條件，需要供應(yīng)商和使用者進(jìn)行協(xié)商。

4.2 器件特殊測(cè)試

對(duì)于所有密塑封的待認(rèn)證特殊器件，必須進(jìn)行以下測(cè)試。通用數(shù)據(jù)不允許用在這些器件上。如果已經(jīng)存在的器件特殊數(shù)據(jù)則是可以接受的。

1、 靜電放電---所有產(chǎn)品

2、 閂鎖效應(yīng)---所有產(chǎn)品

3、電分配---供應(yīng)商必須證明，超過(guò)了工作溫度等級(jí)、電壓和頻率范圍，器件能夠滿足其規(guī)格說(shuō)明的參數(shù)限制。數(shù)據(jù)必須取自至少三個(gè)批次，或矩陣式（或斜式）制程批次，都必須提供足夠的樣品進(jìn)行有效的統(tǒng)計(jì)，詳見(jiàn)。強(qiáng)烈推薦使用AEC-Q001的零件平均

測(cè)試指導(dǎo)原則來(lái)建立終測(cè)限度。

其他測(cè)試---使用者可以要求其他測(cè)試，取代那些來(lái)自他與特殊供應(yīng)商經(jīng)驗(yàn)的通用數(shù)據(jù)。

4.3 磨損可靠性測(cè)試

與磨損失效機(jī)理相關(guān)的新技術(shù)和材料無(wú)論何時(shí)被認(rèn)證，以下列出的失效機(jī)理測(cè)試都必須是可應(yīng)用的。數(shù)據(jù)、測(cè)試方法、計(jì)算和內(nèi)部標(biāo)準(zhǔn)在每種新器件的認(rèn)證上不需要論證和執(zhí)行，但應(yīng)滿足使用者的要求。

●電遷移

●經(jīng)時(shí)絕緣擊穿（TDDB 薄柵氧化層測(cè)試）---針對(duì)所有MOS 技術(shù)

●熱載流子注入效應(yīng)---針對(duì)1 微米以下所有MOS 技術(shù)

●負(fù)偏壓溫度不穩(wěn)定性

●應(yīng)力遷移

認(rèn)證測(cè)試流程

黃裕彬

廣州廣電計(jì)量檢測(cè)股份有限公司(GRGT)

GUANGZHOU GRG METROLOGY & TEST CO., LTD

總部：廣東省廣州市天河區(qū)黃埔大道西平云路163號(hào)

東莞實(shí)驗(yàn)室：東莞松山湖高新區(qū)松湖華科產(chǎn)業(yè)孵化園1棟2樓

手機(jī)(Mobile):（）

電郵(Email):   [email protected];