蒸餾水：就是將水蒸餾、冷凝的水,蒸二次的叫重蒸水,三次的叫三蒸水.有時候為了特殊目的,在蒸前會加入適當(dāng)試劑,如為了無氨水,會在水中加酸；低耗氧量的水,加入高錳酸鉀與酸等.工業(yè)蒸餾水是采用蒸餾水方法取得的純水,一般普通蒸餾取得的水純度不高,經(jīng)過多級蒸餾水,出水才可達(dá)到很純,成本相對比較高.
2.去離子水就是將水通過陽離子交換樹脂（常用的為苯乙烯型強酸性陽離子交換樹脂）,則水中的陽離子被樹脂所吸收,樹脂上的陽離子H+被置換到水中,并和水中的陽離子組成相應(yīng)的無機酸；含此種無機酸的水再通過陰離子交換樹脂（常用的為苯乙烯型強堿性陰離子）OH-被置換到水中,并和水中的H+結(jié)合成水,此即去離子水.去離子水在現(xiàn)代工業(yè)中有著非常廣泛的用途,使用去離子水,是我國很多行業(yè)提高產(chǎn)品質(zhì)量的,趕超世界先進水平的重要手段之一.由于去離子水中的離子數(shù)可以被人為的控制,從而,使它的電阻率、溶解度、腐蝕性、病毒細(xì)菌等物理、化學(xué)及病理等指標(biāo)均得到良好的控制.在工業(yè)生產(chǎn)及實驗室的實驗中,如果涉及到使用水的工藝都被使用了去離子水,那么,許多參數(shù)會更接近設(shè)計或理想數(shù)據(jù),產(chǎn)品質(zhì)量將變得易于控制.
3.高純水,是指化學(xué)純度極高的水,其主要應(yīng)用在生物、化學(xué)化工、冶金、宇航、電力等領(lǐng)域,但其對水質(zhì)純度要求相當(dāng)高,所以一般應(yīng)用Zui普遍的還是電子工業(yè).例如電力系統(tǒng)所用的純水,要求各雜質(zhì)含量低達(dá)到“微克/升”級.在純水的制作中,水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)所規(guī)定的各項指標(biāo)應(yīng)該根據(jù)電子(微電子)元器件(或材料)的生產(chǎn)工藝而定(如普遍認(rèn)為造成電路性能破壞的顆粒物質(zhì)的尺寸為其線寬的1/5-1/10),但由于微電子技術(shù)的復(fù)雜性和影響產(chǎn)品質(zhì)量的因素繁多,至今尚無一份由工藝試驗得到的適用于某種電路生產(chǎn)的完整的水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn).不過近年來電子級水標(biāo)準(zhǔn)也在不斷地修訂,而且高純水分析領(lǐng)域的許多突破和發(fā)展,新的儀器和新分析方法的不斷應(yīng)用都為制水工藝的發(fā)展創(chuàng)造了條件.高純水的國家標(biāo)準(zhǔn)為：GB1146.1-89至GB1146.11-89[168],目前我國高純水的標(biāo)準(zhǔn)將電子級水分為五個級別：Ⅰ級、Ⅱ級、Ⅲ級、Ⅳ級和Ⅴ級,該標(biāo)準(zhǔn)是參照ASTM電子級標(biāo)準(zhǔn)而制定的.