四路質(zhì)子混氣管式PECVD 金屬鍍膜PECVD-永久免費(fèi)國(guó)產(chǎn)精品視頻|影音先鋒女人AA魯色資源
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- ￥100000.00元每臺(tái)
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- 18403775787
- xinkyo
- 尺寸：φ40*205
- PECVD
- 控溫精度：±1℃
- 南陽(yáng)
- 控溫方式：宇電智能溫控儀
四路質(zhì)子混氣管式PECVD
混氣管式PECVD系統(tǒng)是為了使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進(jìn)行，利用了等離子體的活性來(lái)促進(jìn)反應(yīng)，環(huán)境溫度在100-300℃，但反應(yīng)氣體在輝光放電等離子體中能受激分解、離解和離化，從而大大提高了反應(yīng)物的活性，這些具有反應(yīng)活性的中性物質(zhì)很容易被吸附到較次溫度的基本表面上，發(fā)生非平衡的化學(xué)反應(yīng)沉積生成薄膜，因此這種CVD稱(chēng)為等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法（PECVD）。
設(shè)備可在片狀或類(lèi)似形狀樣品表面沉積SiOx、SiNx、非晶硅、微晶硅、納米硅、SiC、類(lèi)金剛石等多種薄膜，并可沉積p型、n型摻雜薄膜。沉積的薄膜具有良好的均勻性、致密性、粘附性、絕緣性。廣泛應(yīng)用于刀具、高精模具、硬質(zhì)涂層、高端裝飾等領(lǐng)域。
管式爐系統(tǒng) | |
爐管尺寸 | 直徑60mm |
加熱區(qū)長(zhǎng)度 | 205mm、350mm、440mm(更多規(guī)格可按照客戶(hù)要求定制) |
正常工作溫度 | 1100℃ |
工作溫度 | 1200℃ |
加熱元件 | 摻鉬合金加熱絲 |
爐膛材質(zhì) | 采用日本進(jìn)口爐膛材料，不掉粉、材料保溫性能好、反射率高、溫場(chǎng)均衡，抗熱漲冷縮能力強(qiáng) |
控溫方式 | 智能化30段可編程控制（用戶(hù)可選配液晶觸摸屏顯示） |
真空系統(tǒng) | |
高真空分子泵組，高真空復(fù)合真空計(jì) 前級(jí)泵2升每秒，分子泵600升每秒 采用KF25系列波紋管和真空擋板閥連接 | |
質(zhì)子流量計(jì) | |
高精度質(zhì)量流量計(jì)可準(zhǔn)確的控制氣體流量 氣體流量范圍為0-500SCCm 誤差為0.02% 出氣真空壓力表，內(nèi)置氣體混氣系統(tǒng)， 不銹鋼針閥計(jì)管道，標(biāo)準(zhǔn)雙卡套接頭 | |
射頻電源系統(tǒng) | |
輸出功率 | 50-500W可調(diào)±1% |
RF頻率 | 13.56MHz，穩(wěn)定性±0.005% |
噪聲 | ≤55DB |
冷卻 | 風(fēng)冷 |
輸入功率 | 1KW AC 220V |
提供相關(guān)配件 | 氣煉石英爐管、真空法蘭、高溫手套、坩堝鉤、熱電偶、防燙罩、剛玉坩堝、爐塞 |
電氣認(rèn)證 | CE認(rèn)證 |
售后服務(wù) | 12個(gè)月質(zhì)保、終身保修 |
四路質(zhì)子混氣管式PECVD , 金屬鍍膜CVD , 表面沉積PECVD
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企業(yè)簡(jiǎn)介 南陽(yáng)市鑫宇新材料科技有限公司總部設(shè)在南陽(yáng)市高新區(qū)龍升工業(yè)園區(qū)，擁有完整、科學(xué)的質(zhì)量管理體系，標(biāo)準(zhǔn)化的生產(chǎn)車(chē)間。公司充滿(mǎn)現(xiàn)代氣息的活力，團(tuán)隊(duì)年輕化，做事效率高效化，同時(shí)聘用多名高級(jí)專(zhuān)業(yè)的技術(shù)人才，保證了產(chǎn)品的科學(xué)性實(shí)用性以及生產(chǎn)周期的快速性。是您的首選戰(zhàn)略合作伙伴！ 鑫宇新材料科技始終堅(jiān)持“以質(zhì)量求生存、以誠(chéng)信促發(fā)展”的宗旨，致力于高品質(zhì)的高溫箱式馬弗爐、高溫真空管式爐、高溫氣氛爐、臺(tái)車(chē)爐、升降爐、牙科義齒爐、高溫高真空試驗(yàn)...