高純氦的純度分級是選型的核心依據(jù)，行業(yè)普遍用 “N” 代表 9 的數(shù)量，5N 高純氦總雜質(zhì)上限控制在 10ppm，重點管控O?、N?、H?O、CO、CO?以及碳?xì)浠衔锏冉M分，是實驗室分析、常規(guī)氦檢、光纖拉絲的主流規(guī)格。當(dāng)純度提升至 6N 即99.9999% 時，歸入超純氦序列，單項雜質(zhì)需要壓至 ppb級別，先進(jìn)半導(dǎo)體制程、航天配套等高敏感場景。微量雜質(zhì)帶來的影響不容小覷，哪怕 ppm級別的水汽、氧，在晶圓加工過程中都可能造成硅片表面氧化、薄膜缺陷，直接導(dǎo)致產(chǎn)品報廢。高純氦生產(chǎn)不是簡單壓縮提純，原料大多取自含氦天然氣，經(jīng)過低溫精餾、吸附純化、催化除雜、多級過濾等多道工序逐步脫除雜質(zhì)，整套提純工藝設(shè)備投入高、運(yùn)行能耗大，也是高純氦長期資源稀缺、供應(yīng)緊張的重要原因。

江蘇科海檢驗有限公司

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